哈尔滨江丰电子材料有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨江丰电子材料有限公司申请的专利一种靶材清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223875705U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520211309.9，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型一种靶材清洗装置是由姚力军;时晓旭;陈宝玉设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种靶材清洗装置。本实用新型提出一种靶材清洗装置，包括清洗室、清洗固定机构和输送机构，清洗室内设置有用于清洗靶材的清洗机构，清洗固定机构能够固定靶材使得靶材能够被均匀清洗，输送机构能够带动清洗固定机构进出清洗室，通过输送机构带动清洗固定机构进行靶材的运输，节约成本和劳动力，同时提高运送和清洗效率；固定架的两侧分别对应设置有第一调节组件，工作人员能够调节两个第一调节组件之间的距离，以适应不同外径的靶材，具有较高的兼容性和适应性，降低了生产成本。
本实用新型一种靶材清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种靶材清洗装置，其特征在于，包括： 清洗室，所述清洗室内设置有清洗机构，所述清洗机构用于对靶材10进行清洗； 清洗固定机构1，所述清洗固定机构1能够固定所述靶材10，所述清洗固定机构1包括固定架11，所述固定架11的两侧分别对应设置有第一调节组件3，两个所述第一调节组件3能够在所述固定架11上移动实现相互靠近或远离，以适应不同外径的所述靶材10； 输送机构2，所述输送机构2能够带动所述清洗固定机构1进出所述清洗室。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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