芯恩(青岛)集成电路有限公司李凤娟获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆表层薄膜的检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223882934U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520689942.9，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种晶圆表层薄膜的检测装置是由李凤娟设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表层薄膜的检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆表层薄膜的检测装置，包括工艺腔；承载件，设于所述工艺腔内，以承载晶圆；检测组件，设于所述工艺腔内，以检测薄膜；驱动装置，与所述承载件或所述检测组件连接，用于使所述承载件和所述检测组件在竖直方向发生相对运动，以使所述检测组件检测所述薄膜的厚度；或带动所述检测组件沿所述承载件径向运动，以使所述检测组件检测所述薄膜的边缘位置。本实用新型能够克服了传统测量方法中因缺乏明确的去边距离而引发的各种不确定性，从而提升了测量的准确性。
本实用新型一种晶圆表层薄膜的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表层薄膜的检测装置，其特征在于，包括工艺腔200； 承载件210，设于所述工艺腔200内，以承载晶圆100； 检测组件300，设于所述工艺腔200内，以检测薄膜110； 驱动装置，与所述承载件210或所述检测组件300连接，用于使所述承载件210和所述检测组件300在竖直方向发生相对运动，以使所述检测组件300检测所述薄膜110的厚度；或带动所述检测组件300沿所述承载件210径向运动，以使所述检测组件300检测所述薄膜110的边缘位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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