北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司石宇获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利漏液侦测装置以及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223883144U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520641934.7,技术领域涉及:G01M3/04;该实用新型漏液侦测装置以及半导体设备是由石宇;殷梓卿;成晓栋;张玉建设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本漏液侦测装置以及半导体设备在说明书摘要公布了:一种漏液侦测装置以及半导体设备,漏液侦测装置包括:固定基座;上盛漏板,与固定基座固定设置,上盛漏板中设有通孔;下盛漏板,包括基板和凸于基板的凸台,基板顶面与上盛漏板底面相接触,凸台嵌入通孔中,且凸台侧壁与通孔侧壁相接触,下盛漏板相对于上盛漏板可纵向移动;侦测组件,包括设置于固定基座或上盛漏板上的第一侦测结构、以及设置于下盛漏板上的第二侦测结构,侦测组件用于侦测下盛漏板的移动距离。本实用新型有利于实现少量液体渗漏的侦测报警,且有利于避免漏液反溢的风险。
本实用新型漏液侦测装置以及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种漏液侦测装置,其特征在于,包括: 固定基座; 上盛漏板,与所述固定基座固定设置,所述上盛漏板中设有通孔; 下盛漏板,包括基板和凸于所述基板的凸台,所述基板顶面与所述上盛漏板底面相接触,所述凸台嵌入所述通孔中,且所述凸台侧壁与所述通孔侧壁相接触,所述下盛漏板相对于所述上盛漏板可纵向移动; 侦测组件,包括设置于所述固定基座或上盛漏板上的第一侦测结构、以及设置于所述下盛漏板上的第二侦测结构,所述侦测组件用于侦测所述下盛漏板的移动距离。
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