苏州首镭激光科技有限公司张晓峰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州首镭激光科技有限公司申请的专利一种晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223883468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422976175.8，技术领域涉及：G01N21/88；该实用新型一种晶圆检测设备是由张晓峰;胡秋立设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆检测设备，包括机台、设置在机台上的检测模组和机械手，检测模组通过台柱架设在机台上，检测模组包括相机移动模组、第一检测组件和第二检测组件，相机移动模组和第一检测组件设置在台柱上，第二检测组件设置在相机移动模组上，第二检测组件与第一检测组件高度相同且相对平行设置，第二检测组件在相机移动模组的驱动下进行靠近或远离第一检测组件的平移运动，对应检测模组下方的机台上活动的设置有产品承载平台，产品承载平台包括产品移动模组和旋转吸附平台，旋转吸附平台设置在产品移动模组上。该设备可以对晶圆进行高效快速的检测，适用于多种尺寸规格的晶圆产品检测，设备整体的灵活性和准确性高。
本实用新型一种晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测设备，包括机台、设置在机台上的检测模组和机械手，其特征在于：所述检测模组通过台柱架设在所述机台上，所述检测模组包括相机移动模组、第一检测组件和第二检测组件，所述相机移动模组和第一检测组件设置在所述台柱上，所述第二检测组件设置在所述相机移动模组上，所述第二检测组件与所述第一检测组件高度相同且相对平行设置，所述第二检测组件在所述相机移动模组的驱动下进行靠近或远离所述第一检测组件的平移运动，对应所述检测模组下方的所述机台上活动的设置有产品承载平台，所述产品承载平台包括产品移动模组和旋转吸附平台，所述旋转吸附平台设置在所述产品移动模组上。
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