北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司张佳慧获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种清洗干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223885612U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520125858.4，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种清洗干燥装置是由张佳慧;李渊设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗干燥装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种清洗干燥装置，包括：干燥腔；清洗槽，位于所述干燥腔内，用于盛放清洗液；升降装置，位于所述干燥腔内，所述升降装置包括：支架，所述支架与第一升降电机连接，被配置为在所述第一升降电机的带动下向进入或远离所述清洗槽方向运动；第一承托部，所述第一承托部与所述支架连接，用于承托待清洗件；以及第二承托部，所述第二承托部通过相对所述第一承托部升降与所述第一承托部交替承托所述待清洗件。本申请提供的清洗干燥装置可以避免在干燥晶圆的过程中，晶圆与升降装置之间的接触点干燥不完全导致的晶圆表面缺陷。
本实用新型一种清洗干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗干燥装置，其特征在于，包括： 干燥腔； 清洗槽，位于所述干燥腔内，用于盛放清洗液； 升降装置，位于所述干燥腔内，所述升降装置包括： 支架，所述支架与第一升降电机连接，被配置为在所述第一升降电机的带动下向进入或远离所述清洗槽方向运动； 第一承托部，所述第一承托部与所述支架连接，用于承托待清洗件；以及 第二承托部，所述第二承托部通过相对所述第一承托部升降与所述第一承托部交替承托所述待清洗件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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