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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113394067B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110176264.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理设备是由严基喆;韩镕圭;全尚珍;金头汉;李相烨设计研发完成，并于2021-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理设备在说明书摘要公布了：一种能够消除反应器之间的信号干扰的基板处理设备包括：第一反应器；与第一反应器相邻的第二反应器；以及功率产生器，其配置成向第一反应器供应第一功率并且向第二反应器供应第二功率。功率产生器还配置为使第一功率和第二功率的相位同步。

本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 第一反应器，所述第一反应器包括第一功率电极和第一接地电极； 与第一反应器相邻的第二反应器，所述第二反应器包括第二功率电极和第二接地电极； 功率产生器，其配置为向第一功率电极供应第一功率并且向第二功率电极供应第二功率；以及 控制器， 其中，所述功率产生器进一步配置为使所述第一功率和第二功率的相位同步，且其中所述功率产生器包括： 信号产生器，其配置为产生相位同步的第一信号和第二信号； 第一功率产生部，其配置为基于第一信号产生所述第一功率；以及 第二功率产生部，其配置为基于第二信号产生所述第二功率， 其中，所述信号产生器包括第一传感器、第二传感器、比较器和分离器，所述分离器配置成从单个RF信号产生第一RF信号和第二RF信号， 其中，所述第一传感器检测所述第一RF信号的相位， 其中，所述第二传感器检测所述第二RF信号的相位， 其中，所述比较器被配置成从第一传感器接收信号、从第二传感器接收信号，并且将来自第一传感器的信号与来自第二传感器的信号比较，并输出比较信号， 其中，所述分离器进一步配置成通过基于比较信号调节引导向第一功率产生部的所述第一RF信号和引导向第二功率产生部的第二RF信号中的至少一个的相位，使得引导向第一功率产生部的第一RF信号和引导向第二功率产生部的第二RF信号相位同步以形成所述第一信号和第二信号， 其中，所述第一接地电极和第二接地电极耦接到地， 其中，所述第一功率产生部和第二功率产生部的至少一个包括： 第一放大器，其配置为放大从所述信号产生器输出的信号并输出第一放大信号； 第二放大器，其配置为放大从所述信号产生器输出的信号并输出第二放大信号；以及 组合器，其配置为组合所述第一放大信号和第二放大信号以产生输出信号， 其中，所述控制器配置为将从所述信号产生器输出的信号的相位与所述输出信号的相位进行比较，并将比较结果传输至所述组合器，且 其中，所述组合器基于从控制器接收的比较信号来执行组合器的相位调节功能， 其中，所述控制器配置为执行所述第一传感器和第二传感器的功能。

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