细美事有限公司洪榕焄获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114078721B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110879368.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置及方法是由洪榕焄;李康奭;张素荣;李贤俊设计研发完成，并于2021-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供利用可变电阻器来控制导向销和支承销的接地电阻值，从而能够调节基板上的电荷的流动的基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置。所述基板支承部件包括：主体；支承销，设置在主体上，并且支承基板；导向销，设置在主体上，并且支承基板；以及电荷控制装置，控制支承销与第一电阻器之间的电连接以及导向销与第二电阻器之间的电连接，以控制基板的周围的电荷。
本发明授权基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.基板支承部件，包括： 主体； 支承销，设置在所述主体上，并且支承基板； 导向销，设置在所述主体上，并且支承所述基板；以及 电荷控制装置，控制所述支承销与第一电阻器之间的电连接以及所述导向销与第二电阻器之间的电连接，以控制所述基板的周围的电荷， 其中，所述电荷控制装置控制残留在所述基板上的电荷量，以使得在所述基板的周围积聚的电荷用于处理所述基板。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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