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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利预测性维护方法和预测性维护设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114371640B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111185905.7，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权预测性维护方法和预测性维护设备是由大森拓设计研发完成，并于2021-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本预测性维护方法和预测性维护设备在说明书摘要公布了：一种预测性维护方法的示例包括：确定在已经使用配方的衬底处理中测量的模拟数据是否超过对应于配方并且已经预先确定的可允许阈值；以及在在确定中模拟数据超过可允许阈值被确定的情况下，通知用户已经预先与模拟数据相关的有关模块已经劣化。

本发明授权预测性维护方法和预测性维护设备在权利要求书中公布了：1.一种预测性维护方法，包括： 提供具有多个模块的系统，所述系统被配置成运行多个配方，其中多个模块中的每个具有不同输出模拟数据，其中多个配方中的每个具有与所述多个模块的每个的不同输出模拟数据相对应的多个输出模拟数据，其中，所述系统被配置成在运行所述多个配方的每个配方的同时测量和记录来自系统的多个模块的多个输出模拟数据； 确定针对多个配方的每个配方的多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的多个可允许阈值，其中，确定针对多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的可允许阈值包括： 获得在处理多个虚拟晶片中的针对多个模块的每个模块的多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的平均值；以及 基于该平均值确定多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的可允许阈值， 在确定了针对多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的多个可允许阈值之后，利用第一衬底的第一配方执行衬底处理，且测量衬底处理中的第一组数据，其中，所述第一组数据包括在运行第一配方的同时测量的针对多个模块的每个模块的多个输出模拟数据； 确定在已经使用第一配方的衬底处理中测量的第一组数据中的任何数据是否超过针对第一配方的多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的可允许阈值； 计算针对第一配方的多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的安全度，其中，计算安全度包括计算测量的数据和可允许阈值之间的余量； 在所述确定在已经使用第一配方的衬底处理中测量的第一组数据中的任何数据是否超过针对第一配方的多个输出模拟数据的每个输出模拟数据的可允许阈值中确定了所述第一组数据中的任何数据超过可允许阈值的情况下，通知用户与已经超过可允许阈值的数据相关联的模块已经劣化； 指定所述第一配方是否是该系统的高负载配方，其中，所述高负载配方是提供比预定标准低的安全度的配方；以及 改变高负载配方、抑制高负载配方的使用频率或限制系统使用高负载配方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASM IP私人控股有限公司，其通讯地址为：荷兰阿尔梅勒；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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