成都高真科技有限公司李祥华获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利一种无膜皮的掩膜板装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690535B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210451287.4，技术领域涉及：G03F1/00；该发明授权一种无膜皮的掩膜板装置是由李祥华设计研发完成，并于2022-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无膜皮的掩膜板装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种无膜皮的掩膜板装置，包括上下分布的所述光源、掩膜板，还包括设于所述掩膜板旁的夹具，所述夹具上带有电荷，所述夹具能夹持或松开所述掩膜板，所述夹具夹持所述掩膜板时能带动所述掩膜板移动。本发明解决了现有技术存在的因膜皮吸附微粒容易导致品质不良及产能损失等问题。
本发明授权一种无膜皮的掩膜板装置在权利要求书中公布了：1.一种无膜皮的掩膜板装置，其特征在于，包括上下分布的光源1、掩膜板2，还包括设于所述掩膜板2旁的夹具3，所述掩膜板2为不使用膜皮的结构，所述夹具3上带有电荷，所述夹具3能夹持或松开所述掩膜板2，所述夹具3夹持所述掩膜板2时能带动所述掩膜板2移动，其中，所述夹具3上的电荷用于中和所述掩膜板2的电荷，使掩膜板2中性化以让微粒无法吸附，无膜皮的掩膜板装置还包括设于所述掩膜板2旁的阻挡件4，所述阻挡件4带有电荷，所述阻挡件4的电荷极性能变换，且随所述掩膜板2移动而动态调整位置，以捕获扫描区域中的微粒。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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