株式会社斯库林集团篠原敬获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底洗净装置及衬底洗净方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695186B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111571492.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法是由篠原敬设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底洗净装置及衬底洗净方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。衬底洗净装置包含：衬底保持部，将衬底以水平姿势保持；及一面洗净装置，洗净由衬底保持部保持的衬底的一面。一面洗净装置包含：洗净具，以可与衬底的一面接触的方式设置；流体缸，对洗净具施加朝向上方的力；及缸驱动部，驱动流体缸。缸驱动部在待机时，以对洗净具施加朝向上方的第1力的方式，驱动流体缸。另外，缸驱动部在洗净衬底的一面时，以在洗净具与衬底的一面接触的状态下，对洗净具施加朝向上方且与第1力不同的第2力，由此洗净具以预先设定的力推压一面的方式，驱动流体缸。
本发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底洗净装置，包含： 衬底保持部，将衬底以水平姿势保持； 第1洗净具，以可与由所述衬底保持部保持的衬底的上表面及下表面中的一面接触的方式设置； 第1流体缸，对所述第1洗净具施加朝向上方的力；及 第1缸驱动部，驱动所述第1流体缸；且 所述第1缸驱动部是在待机时，以对所述第1洗净具施加朝向上方的第1力的方式，通过供给流体来驱动所述第1流体缸，且在洗净衬底的所述一面时，以如下方式，通过供给流体来驱动所述第1流体缸，即，在所述第1洗净具与衬底的所述一面接触的状态下，对所述第1洗净具施加朝向上方且与所述第1力不同的第2力，由此所述第1洗净具以预先设定的力推压所述一面。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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