富士胶片株式会社井上和臣获国家专利权
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龙图腾网获悉富士胶片株式会社申请的专利图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114730145B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080080358.3,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法是由井上和臣;岛田和人;榎本雄一郎;佐藤直树设计研发完成,并于2020-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种图案形成方法、上述图案形成方法中所使用的光固化性树脂组合物、包括上述图案形成方法的层叠体的制造方法及包括上述图案形成方法的电子器件的制造方法或光固化性树脂组合物,所述图案形成方法包括:第1曝光工序,曝光由光固化性树脂组合物形成的光固化性膜的一部分;显影工序,通过显影液对上述曝光后的上述光固化性膜进行显影来获得显影图案;及第2曝光工序,曝光上述显影图案来获得图案,上述光固化性树脂组合物为特定组成。
本发明授权图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种图案形成方法,其包括: 第1曝光工序,对由光固化性树脂组合物形成的光固化性膜的一部分进行曝光; 显影工序,通过显影液对所述曝光后的所述光固化性膜进行显影来获得显影图案;及 第2曝光工序,对所述显影图案进行曝光来获得图案, 所述光固化性树脂组合物包含: 选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少1种树脂; 对所述第1曝光工序中的曝光波长具有灵敏度的感光性化合物A;以及 对所述第2曝光工序中的曝光波长具有灵敏度的感光性化合物B, 所述感光性化合物A为在所述第1曝光工序中使所述光固化性膜相对于所述显影液的溶解度发生变化的化合物, 所述感光性化合物A为光产酸剂,所述感光性化合物B为光产碱剂;或者 所述感光性化合物A为光产碱剂,所述感光性化合物B为光产酸剂;或者 所述感光性化合物A及所述感光性化合物B均为光产碱剂。
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