北京工业大学贾云鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利一种内置异质结二极管的SiC沟槽型MOS器件结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114744041B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210178643.X,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权一种内置异质结二极管的SiC沟槽型MOS器件结构是由贾云鹏;卢翔鸾;周新田;胡冬青;吴郁设计研发完成,并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内置异质结二极管的SiC沟槽型MOS器件结构在说明书摘要公布了:一种内置多晶硅异质结二极管的SiC沟槽型MOS器件结构涉及功率半导体领域,包括源极金属、漏极金属、衬底、N‑漂移区、P‑shielding区、隔离氧化层、栅氧化层、多晶硅源、多晶硅栅、电流扩展层、P‑base区、N‑source区、P‑plus区。衬底一端与漏极金属接触,另一端与漂移层接触,电流扩展层设置于N‑漂移区上,P‑base区设置于电流扩展层上,N‑source区与P‑plus区并列排列设置于P‑base区上,多个沟槽形成于基区并垂直延伸至漂移层中;沟槽左侧填充多晶硅栅,右侧填充多晶硅源,多晶硅栅的左侧、右侧和底部与栅氧化层接触,多晶硅源左侧与栅氧化层接触,多晶硅源与N‑漂移区接触形成异质结。隔离氧化层分别与源极金属及沟槽和N‑source区接触,沟槽与N‑source区接触。本发明提升了开关速度,改善反向恢复电荷。
本发明授权一种内置异质结二极管的SiC沟槽型MOS器件结构在权利要求书中公布了:1.一种内置异质结二极管的SiC沟槽型MOS器件结构,所述内置异质结二极管的SiC沟槽型MOSFET结构,包括源极金属、漏极金属、衬底、N-漂移区、P-shielding区、隔离氧化层、栅氧化层、多晶硅源、多晶硅栅、电流扩展层、P-base区、N-source区、P-plus区;所述衬底一端与漏极金属接触,另一端与N-漂移区接触,所述电流扩展层设置于N-漂移区上,所述P-base区设置于电流扩展层上,所述N-source区与P-plus区并列排列设置于P-base区上,多个沟槽形成于基区并垂直延伸至漂移层中;隔离氧化层分别与源极金属及沟槽和N-source区接触,所述沟槽与N-source区接触; 所述沟槽左侧填充多晶硅栅,右侧填充多晶硅源,其中,多晶硅栅的左侧、右侧和底部与栅氧化层接触,多晶硅源左侧与栅氧化层接触,该多晶硅源与N-漂移区接触形成异质结。
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