桑迪士克科技有限责任公司侯琳获国家专利权
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龙图腾网获悉桑迪士克科技有限责任公司申请的专利防界面倾斜接合组件及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114930522B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180006653.9,技术领域涉及:H10W72/90;该发明授权防界面倾斜接合组件及其形成方法是由侯琳;P·拉布金;陈杨胤;东谷政昭设计研发完成,并于2021-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本防界面倾斜接合组件及其形成方法在说明书摘要公布了:提供第一接合单元,该第一接合单元包括第一衬底、第一钝化介电层和第一接合焊盘。提供第二接合单元,该第二接合单元包括第二衬底、第二钝化介电层和第二接合焊盘,该第二接合焊盘包括接合柱结构。在该第一接合焊盘的物理地暴露的表面上形成焊料材料部分。通过将该接合柱结构中的至少一个接合柱结构接合到相应的焊料材料部分来将该第二接合单元附接到该第一接合单元。
本发明授权防界面倾斜接合组件及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种接合组件,包括: 第一接合单元,所述第一接合单元包括:第一衬底;第一金属互连结构,所述第一金属互连结构嵌入在第一介电材料层中;第一钝化介电层,所述第一钝化介电层具有第一近侧表面和第一远侧表面,所述第一近侧表面接触所述第一介电材料层中的一个第一介电材料层,所述第一远侧表面与所述第一近侧表面由所述第一钝化介电层的厚度间隔;第一接合焊盘,所述第一接合焊盘位于所述第一钝化介电层中的相应的开口内并由所述相应的开口横向地包围,其中所述第一接合焊盘的远侧表面相对于所述第一钝化介电层的所述第一远侧表面凹陷;以及焊料材料部分,所述焊料材料部分位于所述第一钝化介电层中的相应的开口内并由所述相应的开口横向地包围;和 第二接合单元,所述第二接合单元包括:第二衬底;第二金属互连结构,所述第二金属互连结构嵌入在第二介电材料层中;第二钝化介电层,所述第二钝化介电层具有第二近侧表面和第二远侧表面,所述第二近侧表面接触所述第二介电材料层中的一个第二介电材料层,所述第二远侧表面与所述第二近侧表面由所述第二钝化介电层的厚度间隔;以及第二接合焊盘,所述第二接合焊盘位于所述第二钝化介电层的相应的开口内并由所述相应的开口横向地包围,其中所述第二接合焊盘中的每个第二接合焊盘包括接合柱结构,所述接合柱结构突出超过包括所述第二远侧表面的水平平面,其中: 所述接合柱结构的第一子组直接地接触所述第一接合焊盘的第一子组;并且 所述接合柱结构的第二子组不直接地接触所述第一接合焊盘中的任何第一接合焊盘,使得所述焊料材料部分的第二子组中的相应的焊料材料部分位于所述接合柱结构的所述第二子组中的每个接合柱结构与所述第一接合焊盘的第二子组中的每个相应的第一接合焊盘之间,并且使得所述焊料材料部分的所述第二子组中的所述相应的焊料材料部分在所述接合柱结构的所述第二子组中的每个接合柱结构与所述第一接合焊盘的所述第二子组中的每个相应的第一接合焊盘之间提供电接触。
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