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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981204B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180009462.8，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件是由T·弗里德里希;C·赫尔梅斯;P·施莫尔林格鲁贝尔;A·朔伊尔勒;H·韦伯设计研发完成，并于2021-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件，其具有：膜片10，所述的膜片具有膜片内侧10a，电极结构12至少局部地与所述膜片内侧直接或间接附接；空腔14，所述空腔至少构造在由至少一个牺牲层16,18的至少一个去除区域暴露的体积中，其中，由所述至少一个牺牲层16,18的至少一种电绝缘牺牲层材料制成的至少一个残留区域16a，18a仍然存在于所述微机械构件上；以及，由不同于所述至少一种电绝缘牺牲层材料的至少一种电绝缘材料制成的至少一个绝缘区域20a，20b，其中，借助所述至少一个绝缘区域20a，20b，所述电极结构12与所述膜片10电绝缘和或所述至少一个牺牲层16,18的至少一个残留区域16a，18a与所述空腔14分隔开。本发明还涉及一种用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件的制造方法。

本发明授权用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件在权利要求书中公布了：1.一种用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件，所述微机械构件具有： 膜片10，所述膜片具有膜片内侧10a，其中，电极结构12至少局部地与所述膜片内侧10a直接或间接附接；以及 空腔14，所述空腔至少构造在由至少一个牺牲层16,18的至少一个去除区域暴露的体积中，其中，所述膜片10的膜片内侧10a与所述空腔14邻接，并且，至少局部地与所述膜片内侧10a直接或间接附接的电极结构12至少部分地由所述空腔14包围，其中，由所述至少一个牺牲层16,18的至少一种电绝缘牺牲层材料制成的至少一个残留区域16a，18a仍然存在于所述微机械构件上； 其特征在于由不同于所述至少一种电绝缘牺牲层材料的至少一种电绝缘材料制成的至少一个绝缘区域20a，20b，其中，借助所述至少一个绝缘区域20a，20b，所述电极结构12与所述膜片10电绝缘和或所述至少一个牺牲层16,18的至少一个残留区域16a，18a与所述空腔14分隔开， 所述膜片10包括贯通所述膜片10的用于引导用于蚀刻所述牺牲层的蚀刻介质的蚀刻通道40，所述蚀刻通道在蚀刻完成后被密封。

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