台湾积体电路制造股份有限公司杨胜钧获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微波产生器、紫外光源、与基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115036199B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110244695.8，技术领域涉及：H01J25/50；该发明授权微波产生器、紫外光源、与基板处理方法是由杨胜钧;郑智龙;黄柏智;林艺民;陈冠廷;王仁珏;庄智尧设计研发完成，并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本微波产生器、紫外光源、与基板处理方法在说明书摘要公布了：一种微波产生器、紫外光源，与基板处理方法，微波产生器包含核心组件、第一磁性元件、第二磁性元件以及散热件。核心组件包含第一电极元件与套接于第一电极元件的第二电极元件。第一磁性元件套接于第一电极元件，第二磁性元件套接于第一电极元件，并与第一磁性元件分开。第二电极元件位于第一磁性元件与第二磁性元件之间。散热件包含至少一散热鳍片，散热鳍片朝向第二磁性元件延伸。
本发明授权微波产生器、紫外光源、与基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种具有微波产生器的紫外光源，其特征在于，该微波产生器包含： 一核心组件，该核心组件包含： 一第一电极元件；以及 一第二电极元件，套接于该第一电极元件； 一第一磁性元件，套接于该第一电极元件； 一第二磁性元件，套接于该第一电极元件，并与该第一磁性元件分开，该第二电极元件位于该第一磁性元件与该第二磁性元件之间；以及 一散热件，套接于该第二电极元件，包含以辐射状配置的多个散热鳍片，该些散热鳍片朝向该第二磁性元件延伸，该些散热鳍片包含具有较小宽度的多个第一散热鳍片与具有较大宽度的多个第二散热鳍片，该些第一散热鳍片为安装在该微波产生器的一外支架的内部，而该些第二散热鳍片则是延伸出超出该微波产生器的该外支架， 其中该核心组件具有一纵轴，该紫外光源包含一紫外光灯管以及一风扇，且该紫外光灯管以及该风扇在该纵轴的方向上分别位于该微波产生器的相对两侧，以在该紫外光灯管与该风扇之间形成多个空气流道。
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