河北圣昊光电科技有限公司杨宁获国家专利权
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龙图腾网获悉河北圣昊光电科技有限公司申请的专利一种载台定位组件及具有其的芯片检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115036257B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210628168.1,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种载台定位组件及具有其的芯片检测装置是由杨宁;王梓伊;韩凯音;薛飞飞;张唯伟设计研发完成,并于2022-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载台定位组件及具有其的芯片检测装置在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆生产技术领域,具体涉及一种载台定位组件及具有其的芯片检测装置。一种载台定位组件,包括:底座,一侧延伸有至少两个相对设置伸出端,伸出端间形成有第一容纳空间,伸出端设有至少一对相对设置第一通孔;支撑座,两侧设有安装端和载台,安装端位于第一容纳空间,安装端上设有第二通孔,第一通孔和第二通孔共轴线;至少一个第一水平调节结构,包括至少一个第一水平调节轴和第一调节块,第一水平调节轴穿过第一通孔和第二通孔,第一调节块设有调节端,调节端与安装端接触设置,转动第一水平调节轴以沿轴线方向移动,通过安装端与调节端的接触摩擦以对支撑座上载台位置进行微调。本发明解决载台在水平方向手动调试时间长的问题。
本发明授权一种载台定位组件及具有其的芯片检测装置在权利要求书中公布了:1.一种载台定位组件,其特征在于,包括: 底座1,所述底座1的一侧延伸出有至少两个相对设置的伸出端13,两个所述伸出端13间形成有第一容纳空间12,两个所述伸出端13上设有至少一对相对设置第一通孔14; 支撑座3,所述支撑座3沿高度方向的两侧分别设有安装端16和载台7,所述安装端16位于所述第一容纳空间12内,所述安装端16上设有至少一个第二通孔18,所述第一通孔14和第二通孔18共轴线设置; 至少一个第一水平调节结构,所述第一水平调节结构包括至少一根第一水平调节轴2和至少一个第一调节块11,所述第一水平调节轴2穿过第一通孔14和第二通孔18设置,所述第一调节块11设有调节端24,所述调节端24与所述安装端16接触设置,转动所述第一水平调节轴2以带动所述安装端16沿轴线方向进行移动,通过安装端16与调节端24的接触摩擦以对支撑座3上载台7的位置进行微调。
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