上海微电子装备(集团)股份有限公司徐傲获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种椭球反射镜的固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115128909B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110327164.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种椭球反射镜的固定装置是由徐傲;彭云平;马汝坤设计研发完成，并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种椭球反射镜的固定装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种椭球反射镜的固定装置，应用于光刻机领域。本发明通过在椭球反射镜的底部设置一具有第一圆环柱凸台的夹持结构，从而使所述椭球反射镜的小口端面的外侧面的某些位置作为椭球反射镜的弹性支撑点，进而减小了椭球反射镜夹持应力与镜面变形。同时，由于本发明实施例中提供的夹持结构中的第一圆环柱上设置的若干个切槽，可以有效的降低夹持结构的径向刚度，从而为曝光过程中，椭球反射镜因受热而发生的自由膨胀提供了空间，进而减弱了椭球反射镜的热应力与装配应力，降低了椭球反射镜发生碎裂的风险。
本发明授权一种椭球反射镜的固定装置在权利要求书中公布了：1.一种椭球反射镜的固定装置，其特征在于，包括用于配置于椭球反射镜的底部的夹持结构，所述夹持结构包括第一圆环柱以及设置在所述第一圆环柱的端面上的第一圆环柱凸台，所述第一圆环柱凸台用于与所述椭球反射镜的小口端面的外侧接触，所述第一圆环柱上设置有若干个切槽；其中，所述椭球反射镜的曲面支撑点的切线与所述椭球反射镜的中心轴线的垂直平面所成的角度随所述椭球反射镜的曲面椭圆方程参数的变化而变化，且所述角度为25º~35º。
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