东京毅力科创株式会社森淳获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132601B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210202354.9，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权基板处理装置和基板处理装置的控制方法是由森淳设计研发完成，并于2022-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和基板处理装置的控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置和基板处理装置的控制方法。在处理容器内进行与基板载置台或载置于基板载置台的基板相关的各种测量。基板处理装置具有处理容器、基板载置台、旋转臂、传感器和旋转机构。处理容器在内部形成有多个处理空间。基板载置台分别配置于多个处理空间。旋转臂包括能够保持基板的末端执行器，旋转轴线位于距多个处理空间分别为等距离的位置。传感器设于旋转臂的末端执行器的与基板保持面相反的一侧的背面。旋转机构使旋转臂旋转，以在处理容器内使传感器向与基板载置台或载置于基板载置台的基板相对的位置移动。
本发明授权基板处理装置和基板处理装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中， 该基板处理装置具有： 处理容器，其在内部形成有多个处理空间； 基板载置台，其分别配置于所述多个处理空间，其中，所述基板载置台被配置为在执行基板处理的处理位置和进行基板交接的交接位置之间升降，其中所述交接位置在所述处理位置下方，其中，所述基板载置台设置有升降销，所述升降销用于升降所述基板； 旋转臂，其包括能够保持基板的末端执行器，该旋转臂的旋转轴线位于距所述多个处理空间分别为等距离的位置； 传感器，其设于所述旋转臂的所述末端执行器的与基板保持面相反的一侧的背面； 旋转机构，其使所述旋转臂旋转，以在所述处理容器内使所述传感器向与所述基板载置台或载置于所述基板载置台的基板相对的位置移动；以及 控制部，其控制旋转机构，在所述基板载置台处于所述交接位置时使所述旋转臂旋转，以在所述处理容器内使所述传感器向与所述基板载置台或载置于所述基板载置台的基板相对的位置移动。
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