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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种温度控制方法及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115235257B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211060301.4，技术领域涉及：F27D19/00；该发明授权一种温度控制方法及半导体设备是由杨晴;钟结实;肖托;王艾设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种温度控制方法及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种温度控制方法及半导体设备，半导体设备的控温区域划分为多个控温区段。本申请可根据控温区段的温度检测值的异常持续周期，区分温度检测值的异常情况是否属于跳变类异常，即温度检测值的异常持续周期小于预设周期数时，认为温度检测值的异常情况属于跳变类异常；温度检测值的异常持续周期不小于预设周期数时，认为温度检测值的异常情况不属于跳变类异常，属于明显异常情况。本申请对温度检测值的明显异常情况不做处理，只针对温度检测值的跳变异常情况进行处理，即过滤掉跳变异常点，一方面是为了解决工艺过程中出现的温度检测值跳变的问题，避免温度异常波动影响工艺结果；另一方面是为了不影响温度检测值明显异常情况的判断。

本发明授权一种温度控制方法及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种温度控制方法，其特征在于，应用于半导体设备，所述半导体设备的控温区域划分为多个控温区段，每个所述控温区段均对应设置第一温度传感器和功率控制器，所述温度控制方法包括： 基于目标控温区段对应的第一目标温度传感器，确定所述目标控温区段在当前控温周期下的温度检测值；其中，所述目标控温区段为任一所述控温区段； 在所述第一目标温度传感器处于正常检测状态，且所述目标控温区段满足预设跳变异常处理条件时，根据预设异常判定策略判定所述当前控温周期下的温度检测值是否异常； 若是，则在所述温度检测值的异常持续周期小于预设周期数时，基于所述第一目标温度传感器对应的第一控温模式，计算前一控温周期下的所述温度检测值对应的控温功率值；在所述异常持续周期不小于所述预设周期数时，基于所述第一控温模式，计算所述当前控温周期下的温度检测值对应的控温功率值； 若否，则基于所述第一控温模式，计算所述当前控温周期下的温度检测值对应的控温功率值； 将计算的所述控温功率值发送至所述目标控温区段对应的目标功率控制器，以使所述目标功率控制器基于所述控温功率值对所述目标控温区段进行温度控制。

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