亦亨电子(上海)有限公司孙晓光获国家专利权
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龙图腾网获悉亦亨电子(上海)有限公司申请的专利一种半导体机台晶圆片传动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899666U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520426059.0，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种半导体机台晶圆片传动装置是由孙晓光;薛磊;吴中;毛世成;凌剑设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体机台晶圆片传动装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体机台晶圆片传动装置，包括机械臂，所述机械臂的底部设有底座，所述机械臂的末端设有翻转件，所述翻转件上设有真空吸附组件，所述翻转件包括驱动电机和减速器，所述机械臂的末端设有连接板，所述连接板上设有垫座，所述驱动电机设于垫座上，所述减速器的输入端连接于驱动电机的输出端，所述减速器的输出端连接有转轴，所述真空吸附组件设于转轴上。本实用新型属于圆片传动装置技术领域，具体是指一种半导体机台晶圆片传动装置。
本实用新型一种半导体机台晶圆片传动装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体机台晶圆片传动装置，包括机械臂1，所述机械臂1的底部设有底座2，其特征在于：所述机械臂1的末端设有翻转件3，所述翻转件3上设有真空吸附组件4，所述翻转件3包括驱动电机5和减速器6，所述机械臂1的末端设有连接板7，所述连接板7上设有垫座8，所述驱动电机5设于垫座8上，所述减速器6的输入端连接于驱动电机5的输出端，所述减速器6的输出端连接有转轴19，所述真空吸附组件4设于转轴19上。
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