湖北星辰技术有限公司梅敏获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种键合头校准机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223899672U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520356989.3,技术领域涉及:H10P72/50;该实用新型一种键合头校准机构是由梅敏;袁娜;谢冬设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种键合头校准机构在说明书摘要公布了:本申请公开了一种键合头校准机构,涉及半导体芯片封装技术领域。键合头校准机构包括键合头、设置在键合头下方的承载台,键合头上方设置有光束发射组件、光束接收组件,键合头上设置有反射镜组,光束发射组件发出的光束在反射镜组的基准点处反射至光束接收组件,光束发射组件的发射光束和光束接收组件的接收光束相平行,光束发射组件的发射光束和光束接收组件的接收光束的平行距离为第一平行距离;远程分析模组根据第一平行距离和键合头与承载台之间距离变化过程中发射光束和接收光束的实时距离之间的差值计算得到键合头的偏移量。其能够对键合过程实时监控并做出实时调整,减少键合偏移量,大幅度提升键合精度。
本实用新型一种键合头校准机构在权利要求书中公布了:1.一种键合头校准机构,其特征在于,包括键合头、设置在所述键合头下方的承载台,所述键合头上方设置有光束发射组件、光束接收组件,所述键合头上设置有反射镜组,所述光束发射组件发出的光束在所述反射镜组的基准点处反射至所述光束接收组件,所述光束发射组件的发射光束和所述光束接收组件的接收光束相平行,所述光束发射组件的发射光束和所述光束接收组件的接收光束的平行距离为第一平行距离; 远程分析模组根据第一平行距离和键合头与承载台之间距离变化过程中发射光束和接收光束的实时距离之间的差值计算得到键合头的偏移量。
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