上海芯畀科技有限公司高翔鹰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯畀科技有限公司申请的专利蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899688U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520476605.1，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂是由高翔鹰;胡进忠;韩军设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体领域，具体涉及蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂，机架上设有转轴，转轴的一侧固定安装有第一支撑臂和第二支撑臂，第一支撑臂和第二支撑臂之间可拆卸安装有花篮机构；花篮机构包括沿转轴的轴向相对设置的两个侧板，两个侧板之间活动安装有支撑板，支撑板绕花篮机构转动的轴线均匀间隔设有多个，支撑板沿花篮机构转动的径向滑动安装在侧板上，支撑板与侧板之间设有锁紧机构；通过沿滑槽滑动调节支撑板，从而调节多个支撑板所围成的圆的直径，以便匹配不同尺寸的晶圆使用。
本实用新型蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂在权利要求书中公布了：1.蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂，其特征在于：包括机架，所述机架上设有由第一动力装置驱动并绕自身轴线转动的转轴，所述转轴的一侧固定安装有相对设置的第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂之间可拆卸安装有由第二动力装置驱动转动的花篮机构；所述花篮机构包括沿所述转轴的轴向相对设置的两个侧板，两个所述侧板之间固定安装有连杆，两个所述侧板之间活动安装有用于固定晶圆的支撑板，所述支撑板绕所述花篮机构转动的轴线均匀间隔设有多个，所述支撑板沿所述花篮机构转动的径向滑动安装在所述侧板上，所述支撑板与所述侧板之间设有锁紧机构。
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