江西兆驰晶显有限公司卿德武获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰晶显有限公司申请的专利一种扩晶环及固晶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223899690U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520504723.9,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种扩晶环及固晶设备是由卿德武;张海波;杨长方;陆试胜设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扩晶环及固晶设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体生产设备技术领域,公开了一种扩晶环及固晶设备,包括内环、外环和扩晶膜,所述扩晶膜覆盖所述内环的顶面,所述外环套设在所述内环外,所述外环与所述内环同心设置,且所述外环与所述内环配合夹持所述扩晶膜,其中,所述内环的内周缘底部设有第一倒角面。本实用新型能够提升扩晶环在固晶机上的定位装配效率。
本实用新型一种扩晶环及固晶设备在权利要求书中公布了:1.一种扩晶环,其特征在于,包括内环、外环和扩晶膜,所述扩晶膜覆盖所述内环的顶面,所述外环套设在所述内环外,所述外环与所述内环同心设置,且所述外环与所述内环配合夹持所述扩晶膜,其中,所述内环的内周缘底部设有第一倒角面。
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