日本株式会社日立高新技术科学杉山安彦获国家专利权
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龙图腾网获悉日本株式会社日立高新技术科学申请的专利带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112687508B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010749029.5，技术领域涉及：H01J37/12；该发明授权带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置是由杉山安彦;永原幸儿设计研发完成，并于2020-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置在说明书摘要公布了：本发明提供带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置，在切换了物镜的加速模式与减速模式或变更了构成物镜的增强器电极的施加电压的情况下，能够得到与切换或变更前同等的无畸变的尺寸准确的试样表面的扫描像。带电粒子束装置具备：带电粒子源，其产生带电粒子；多个扫描电极，它们对带电粒子产生用于使带电粒子偏转的电场，该带电粒子是通过向带电粒子源施加加速电压且向引出带电粒子的引出电极施加引出电压而放出的带电粒子；静电透镜，其配置在多个扫描电极与试样台之间，将通过扫描电极偏转后的带电粒子束会聚；以及处理部，其取得测定条件，基于取得的测定条件，分别设定向多个扫描电极施加的扫描电压。
本发明授权带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束装置，其中，所述带电粒子束装置具备： 带电粒子源，其产生带电粒子； 多个扫描电极，它们对带电粒子产生用于使所述带电粒子偏转并得到无畸变的尺寸准确的试样表面的扫描像的电场，该带电粒子是通过向所述带电粒子源施加加速电压并向引出带电粒子的引出电极施加引出电压而放出的带电粒子； 静电透镜，其配置在多个所述扫描电极与试样台之间，将通过所述扫描电极偏转后的带电粒子束会聚；以及处理部，其取得测定条件，基于取得的测定条件分别设定向多个所述扫描电极施加的扫描电压，所述处理部从将多个测定条件与针对多个所述测定条件确定由多个所述扫描电极分别施加的扫描电压的信息关联起来而成的扫描电压信息中，取得多个符合所述测定条件的确定扫描电压的信息，基于所取得的确定多个扫描电压的所述信息，分别设定多个所述扫描电压，所述扫描电压信息中包含的多个所述扫描电极分别施加的多个扫描电压按照多个所述测定条件中的每个而具有规定的比值。
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