罗伯特·博世有限公司A·叶米利获国家专利权
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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利包括多个单个且分开的传感器元件的传感器装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113532485B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110405350.6,技术领域涉及:G01D5/12;该发明授权包括多个单个且分开的传感器元件的传感器装置是由A·叶米利;J·布罗伊尔;J·克拉森设计研发完成,并于2021-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括多个单个且分开的传感器元件的传感器装置在说明书摘要公布了:提出一种传感器装置,所述传感器装置具有多个单个且分开的传感器元件,其中,单个传感器元件中的每个均独立地运作并且所述传感器装置的单个传感器元件由晶圆的一部分或由竖直集成的晶圆堆叠单件式地形成,并且所述传感器装置在所述单个且分开的传感器元件之间具有至少一个分离结构,尤其切割线。
本发明授权包括多个单个且分开的传感器元件的传感器装置在权利要求书中公布了:1.一种传感器装置200,所述传感器装置包括多个单个且分开的传感器元件100,其中,单个且分开的传感器元件100具有第一衬底42和第二衬底12,所述第一衬底具有微机械传感器结构,所述第二衬底具有所属的分析处理电路,其中,所述第一衬底42和所述第二衬底12具有基本上彼此平行地布置的主延伸平面,其中,所述第一衬底42和所述第二衬底12彼此机械连接且电连接,并且所述第一衬底42和所述第二衬底12在垂直于所述主延伸平面的方向上至少部分地重叠或形成至少部分封闭的腔,所述单个且分开的传感器元件100的微机械传感器结构分别布置在所述腔内,其中,所述单个且分开的传感器元件100中的每个均独立地起作用,并且所述传感器装置200的所述多个单个且分开的传感器元件100由晶圆的一部分或竖直集成的晶圆堆叠的一部分单件式地形成,并且所述传感器装置200在所述单个且分开的传感器元件100之间具有至少一个分离结构,所述传感器装置200的所述单个且分开的传感器元件100——除了通过衬底电位的连接以外——仅机械地彼此连接或仅通过重新布线平面20彼此电连接,所述重新布线平面布置在所述第二衬底的背向所述第一衬底的侧上的或布置在所述第一衬底的背向所述第二衬底的侧上,所述传感器装置200在对相同类型的所述单个且分开的传感器元件100的分析处理方面如此配置,使得对所述单个且分开的传感器元件100的测量值求算术平均值,和或对所述单个且分开的传感器元件100的测量值求加权平均值。
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