买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉淮南师范学院申请的专利一种集成电路芯片制造设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113675117B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110981494.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种集成电路芯片制造设备是由孙业国;刘义红;李玲;刘磊;董红祥设计研发完成，并于2021-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成电路芯片制造设备在说明书摘要公布了：本发明属于芯片制造技术领域，具体的说是一种集成电路芯片制造设备，包括清洗箱体、箱盖、回收腔、储液腔和固定单元，所述清洗箱体顶部安装有箱盖，所述箱盖的中间部位设有安装槽，所述箱盖与清洗箱体顶部通过螺栓连接，所述清洗箱体底部的中间部位设有回收腔；本发明通过将待清洗的晶圆固定在固定环上，并启动一号腔中的伸缩杆，使得伸缩杆端部推动一号板带动固定板上移，一号槽露出，将固定环嵌入一号槽，不需要反复打开箱盖，加快了晶圆固定的速度，再使盖板复位，提高了晶圆的加工清洗效率；并使得喷头对称设置，晶圆竖直安装，使得晶圆表面受到的清洗作用更加均匀全面。

本发明授权一种集成电路芯片制造设备在权利要求书中公布了：1.一种集成电路芯片制造设备，其特征在于：包括清洗箱体1、箱盖2、回收腔3、储液腔4和固定单元5，所述清洗箱体1顶部安装有箱盖2，所述箱盖2的中间部位设有安装槽21，所述箱盖2与清洗箱体1顶部通过螺栓连接，所述清洗箱体1底部的中间部位设有回收腔3，所述回收腔3通过回收管31与外界相通，所述回收腔3顶部向下凹陷并均匀设有一号孔32；所述清洗箱体1底部位于回收腔3两侧的部位设有储液腔4，所述储液腔4通过进液管41与外界相通；所述固定单元5包括固定板51、固定环52和盖板53，所述固定板51嵌套在安装槽21上并保持竖直状态，所述固定板51与安装槽21滑动连接，所述固定板51固连有一号板511，所述一号板511与箱盖2上表面相接触；且箱盖2上表面与一号板511相对应的部位设有一号腔22，所述一号腔22内固连有伸缩杆23，所述伸缩杆23端部与一号板511下表面上与一号腔22相对应的部位相连；所述固定板51位于清洗箱体1内部的端部正对回收腔3顶部，且固定板51位于清洗箱体1内部的底部转动连接有盖板53，盖板53正对固定板51表面的部位与固定板51接触，且盖板53顶部和固定板51上相对应的部位分别固连有固定磁铁531；固定板51正对盖板53的表面设有一号槽512，一号槽512截面为圆形，且所述一号槽512上嵌有固定环52，所述固定环52用以对晶圆6进行固定； 所述固定环52内孔表面上设有一号环形槽521，所述晶圆6嵌套在一号环形槽521中；所述固定环52包括两个相同的半环522组成，且两个半环522的端部通过卡扣连接；所述一号槽512上设有圆形的一号通孔513，一号通孔513向靠近盖板53的方向延伸并贯穿盖板53，所述一号通孔513直径与固定环52内孔直径相同；所述储液腔4上方均固连有喷头42，所述喷头42与储液腔4内部所填充的清洗液相通，且喷头42端部均指向靠近一号通孔513的方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人淮南师范学院，其通讯地址为：232038 安徽省淮南市田家庵区洞山西路238号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。