苏州汉天下电子有限公司王矿伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汉天下电子有限公司申请的专利谐振器、滤波器及制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114070258B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111365022.4,技术领域涉及:H03H9/25;该发明授权谐振器、滤波器及制造方法是由王矿伟;赖志国;杨清华设计研发完成,并于2021-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本谐振器、滤波器及制造方法在说明书摘要公布了:本发明实施例提供了一种谐振器、滤波器及制造方法,其中所述谐振器的制造方法包括:形成底电极;在所述底电极上形成压电层;在所述压电层上形成至少一个凹陷部,所述凹陷部的深度与待形成的质量负载层的厚度相同;在所述压电层上形成上电极,所述上电极填充入所述凹陷部的部分形成所述质量负载层,并使所述上电极的上表面平坦化。
本发明授权谐振器、滤波器及制造方法在权利要求书中公布了:1.一种谐振器的制造方法,其特征在于,包括:形成至少两个谐振器,其中一个谐振器未设置质量负载层,至少一个谐振器设置质量负载层,包括,形成底电极; 在所述底电极上形成压电层; 在所述压电层上形成至少一个凹陷部,所述凹陷部的深度与待形成的质量负载层的厚度相同; 在所述压电层上形成上电极,所述上电极填充入所述凹陷部的部分形成所述质量负载层,并使各个所述谐振器的所述上电极的上表面平坦化,使得各个谐振器的上电极的上表面高度齐平; 所述凹陷部设置在每个谐振器对应的底电极中心区域处,或者所述凹陷部的中心与每个所述谐振器对应的底电极中心的距离不大于所述谐振器所产生的谐振波的波长的14。
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