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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于同时基板传输的机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114072897B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080048665.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于同时基板传输的机械手是由C·T·卡尔森;J·M·舒浩勒;L·布恩卡特;D·伯拉尼克设计研发完成，并于2020-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于同时基板传输的机械手在说明书摘要公布了：示例性基板处理系统可以包括限定内部容积的传输区域外壳。传输区域外壳的侧壁可以限定用于提供和接收基板的可密封进出口。所述系统可以包括设置在传输区域内的多个基板支撑件。所述系统还可以包括具有中心枢纽的传输装置，所述中心枢纽包括第一轴和与第一轴同心并且相对于第一轴可反向旋转的第二轴。传输装置可包括与第一轴耦接的第一终端受动器。第一终端受动器可以包括多个第一臂。传输装置还可包括与第二轴耦接的第二终端受动器。第二终端受动器可以包括多个第二臂，所述多个第二臂的第二臂数量等于第一终端受动器的第一臂数量。

本发明授权用于同时基板传输的机械手在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，包括： 传输区域外壳，所述传输区域外壳限定传输区域，其中所述传输区域外壳的侧壁限定用于提供和接收基板的可密封进出口； 多个基板支撑件，所述多个基板支撑件设置在所述传输区域内；以及传输装置，所述传输装置包括： 中心枢纽，所述中心枢纽包括第一轴和第二轴，所述第二轴围绕所述第一轴延伸并与所述第一轴同心，其中所述第二轴能与所述第一轴反向旋转； 第一终端受动器，所述第一终端受动器与所述第一轴耦接，所述第一终端受动器包括多个第一臂，所述多个第一臂具有的第一臂数量等于所述多个基板支撑件中的基板支撑件的数量，其中所述第一终端受动器进一步包括多个第一端件，每个第一端件与所述多个第一臂中的单独的第一臂耦接，所述多个第一端件中的每个第一端件的顶表面与所述多个第一臂中的相关联的第一臂的底表面耦接，使得每个第一端件从所述多个第一臂中相关联的第一臂的底表面朝下突出，以及第二终端受动器，所述第二终端受动器与所述第二轴耦接，所述第二终端受动器包括多个第二臂，所述多个第二臂具有的第二臂数量等于所述第一终端受动器的所述第一臂数量，其中所述第二终端受动器进一步包括多个第二端件，每个第二端件与所述多个第二臂中的单独的第二臂耦接，所述多个第二端件中的每个第二端件的顶表面与所述多个第二臂中的相关联的第二臂的底表面耦接，使得每个第二端件从所述多个第二臂中相关联的第二臂的底表面朝下突出。

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