东京毅力科创株式会社黄庸根获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利液处理方法和液处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114141654B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110980802.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权液处理方法和液处理装置是由黄庸根;畠山真一设计研发完成，并于2021-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本液处理方法和液处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供能够对基片的背面的除了周端以外的环状区域供给处理液以进行局部处理的液处理方法和液处理装置。液处理方法包括：将基片的背面的中心部载置在载置台上，并使该载置台旋转的工序；和从喷嘴对旋转的基片的背面的比周端靠中心的位置供给雾状的处理液，并且使该处理液挥发使得该处理液不会因离心力而被供给到该基片的周端，从而对该基片的背面的环状区域局部地进行处理的工序。
本发明授权液处理方法和液处理装置在权利要求书中公布了：1.一种液处理方法，其特征在于，包括： 将基片的背面的中心部载置在载置台上，并使该载置台旋转的工序；和从喷嘴对旋转的所述基片的背面的比周端靠中心的位置供给雾状的处理液，并且使该处理液挥发使得该处理液不会因离心力而被供给到该基片的周端，从而对该基片的背面的环状区域局部地进行处理的工序，所述喷嘴的释放口在所述基片上投影得到的投影区域的沿着所述基片的径向的长度，小于所述投影区域的与该径向正交的方向的长度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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