上海果纳半导体技术有限公司张冬峰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300376B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111676814.3，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置是由张冬峰;潘学军;叶莹设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置，安装在机架背面，机架上开设有晶圆进出口；还包括对称设置在晶圆进出口两侧的竖向导轨，竖向导轨上滑动设置有伸摆组件，伸摆组件包括在竖向导条的导向下能伸入到晶圆进出口内以对晶圆进行检测的对射传感器；机架背面设置有驱动件，驱动件通过行程放大组件驱动伸摆组件上下移动；机架背面还设有用于测量伸摆组件竖向位移的测距件。本发明的晶圆检测装置通过模块化设计为一套独立的运动系统，可以嵌入到不同形式的晶圆自动装载设备中，用于晶圆位姿的检测，整体结构简单，安装灵活，维修方便。
本发明授权用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置，安装在机架背面，所述机架上开设有晶圆进出口；其特征在于：包括对称设置在所述晶圆进出口两侧的竖向导轨，所述竖向导轨上滑动设置有伸摆组件，所述伸摆组件包括在竖向导条的导向下能伸入到所述晶圆进出口内以对晶圆进行检测的对射传感器；所述机架背面设置有驱动件，所述驱动件通过行程放大组件驱动所述伸摆组件上下移动；所述机架背面还设有用于测量所述伸摆组件竖向位移的测距件； 所述伸摆组件还包括滑动设置在所述竖向导轨上的横杆，所述横杆上安装有转轴，所述转轴上安装有能与所述竖向导条滑动接触的运动块；所述转轴上还安装有扭簧，所述扭簧的两端分别贴靠在所述横杆、运动块上；所述运动块上还固接有用于安装所述对射传感器的弯杆；所述竖向导条设置在机架背面，且其下端延伸至所述晶圆进出口的上端边缘处； 所述运动导条上设有供所述运动块本体滑动接触的运动面，所述运动面由90°的圆弧运动面和与之相切的平运动面组成。
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