长鑫存储技术有限公司陈步祥获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利承载组件及涂胶显影机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114442433B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011204344.6，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权承载组件及涂胶显影机是由陈步祥设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载组件及涂胶显影机在说明书摘要公布了：本发明提供一种承载组件及涂胶显影机，涉及半导体制造设备技术领域，用于解决晶圆生产效率低的技术问题。该承载组件包括支撑柱、第一载台和第二载台；第二载台设置有容纳腔和与容纳腔连通的安装通孔，第二载台包括至少两个壳体，至少两个壳体拼合形成与支撑柱适配的安装通孔，以及包围第一载台的容纳腔，且至少两个壳体可拆卸连接。当第二载台损坏时，在不拆卸第一载台的基础上，将第二载台拆卸以显露第一载台，由第一载台继续承载，节省了第一载台的安装时间，提高晶圆的生产效率。此外，当第一载台损坏时，在不拆卸第一载台的基础上，将第二载台安装在第一载台外，由第二载台继续承载，节省了第一载台的拆卸时间，进一步提高晶圆的生产效率。
本发明授权承载组件及涂胶显影机在权利要求书中公布了：1.一种承载组件，其特征在于，包括支撑柱、固定安装在所述支撑柱上的第一载台，以及固定安装在所述支撑柱上且位于所述第一载台外的第二载台； 所述第二载台设置有容纳腔和与所述容纳腔连通的安装通孔，所述第二载台包括至少两个壳体，至少两个所述壳体拼合形成与所述支撑柱适配的所述安装通孔，以及包围所述第一载台的容纳腔，且至少两个所述壳体可拆卸连接； 所述支撑柱内设有第一管路和第二管路； 所述第一载台的承载端设有第一吸附口，所述第一载台内还设有与所述第一吸附口连通的第一通道，所述第一通道与所述第一管路连通； 所述第二载台的承载端设有第二吸附口，所述第二载台内还设有与所述第二吸附口连通的第二通道，所述第二通道与所述容纳腔互不连通，且所述第二通道与所述第二管路连通。
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