应用材料公司詹姆斯·卡达希获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有集成处理气体分配的单片式模块化微波源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114514595B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080066972.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权具有集成处理气体分配的单片式模块化微波源是由詹姆斯·卡达希;理查德·C·福维尔;拉里·D·伊丽莎加;西尔瓦斯特·罗德里格斯;弗拉基米尔克·尼亚齐克;菲利普·艾伦·克劳斯;蔡泰正设计研发完成，并于2020-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有集成处理气体分配的单片式模块化微波源在说明书摘要公布了：本文公开的实施方式包括用于源阵列的外壳。在一个实施方式中，外壳包括导电体，其中导电体包括第一表面和与第一表面相对的第二表面。在一个实施方式中，穿过导电体形成多个开口，并且在导电体的第二表面中设置通道。在一个实施方式中，盖在通道之上，并且盖包括穿过盖的厚度的第一孔。在一个实施方式中，外壳还包括穿过导电体的厚度的第二孔。在一个实施方式中，第二孔与通道相交。
本发明授权具有集成处理气体分配的单片式模块化微波源在权利要求书中公布了：1.一种用于源阵列的外壳，包括： 导电体，其中所述导电体包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，其中所述导电体是导电的； 多个开口，穿过所述导电体，其中所述多个开口具有穿过所述导电体的厚度的垂直侧壁，所述垂直侧壁具有均匀的宽度； 多个通道，设置在所述导电体的所述第二表面中，其中所述通道由多个圆形部分和线性部分组成，所述线性部分在所述圆形部分处相交，并且其中对于所述通道的所述多个圆形部分中的每一个和穿过所述导电体的所述多个开口中的每一个，所述多个圆形部分中的仅单个对应的圆形部分连续地环绕所述多个开口中的仅单个对应的开口的整体； 盖，在所述通道之上，且其中所述盖包括穿过所述盖的厚度的第一孔；以及第二孔，穿过所述导电体的厚度，其中所述第二孔与所述通道相交，且其中所述第二孔与所述通道流体地耦接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励