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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利用于集成电路制程的温控设备及集成电路制程系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114582759B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210197630.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于集成电路制程的温控设备及集成电路制程系统是由常鑫;李文博;冯涛;宋朝阳;芮守祯;何茂栋;曹小康设计研发完成，并于2022-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于集成电路制程的温控设备及集成电路制程系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于集成电路制程的温控设备及集成电路制程系统。所述温控设备包括至少两个循环流道，连接至负载以向负载提供循环液；半导体制冷片组，对循环流道中的循环液进行冷却或加热；泵，用于增压及输送循环液；信息采集单元，采集循环液的物理量数据；控制中心，根据物理量数据和预设温度值发出调节指令；控制阀组，根据调节指令将相应的循环流道接入负载；可调直流电源，根据调节指令控制半导体制冷片组的工作模式及输出温度。

本发明授权用于集成电路制程的温控设备及集成电路制程系统在权利要求书中公布了：1.一种用于集成电路制程的温控设备，其特征在于，包括： 至少两个循环流道，连接至负载以向所述负载提供循环液； 半导体制冷片组，包括第一端，所述第一端设置于所述循环流道，对所述循环流道中的所述循环液进行冷却或加热； 泵，设置于所述循环流道，用于增压及输送所述循环液； 信息采集单元，设置于所述半导体制冷片组与所述负载之间的循环流道段，采集所述循环液的物理量数据； 控制中心，接收所述信息采集单元的采集的所述物理量数据，根据所述物理量数据和预设温度值发出调节指令； 控制阀组，设置于所述循环流道，接收所述调节指令，根据所述调节指令将相应的所述循环流道接入所述负载； 可调直流电源，接收所述调节指令，根据所述调节指令控制所述半导体制冷片组的工作模式及输出温度； 所述至少两个循环流道包括第一循环流道和第二循环流道，所述控制阀组包括： 至少四个控制阀，第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和第四控制阀； 所述第一控制阀和所述第二控制阀分别设置于所述负载两侧的所述循环流道上，并且所述第一控制阀和所述第二控制阀之间为所述第一循环流道和所述第二循环流道的共用循环流道段； 所述第三控制阀设置于所述第一循环流道的所述半导体制冷片组与所述第一出口之间的循环流道段； 所述第四控制阀设置于所述第二循环流道的所述半导体制冷片组与所述第一出口之间的循环流道段； 所述第一循环流道的所述半导体制冷片组的输出温度包括第一输出温度区间，所述第二循环流道的所述半导体制冷片组的输出温度包括第二输出温度区间； 当所述第一循环流道接入所述负载时，所述第二循环流道虽未接入所述负载，但所述第二循环流道仍处于工作模式，所述第二循环流道的循环液的温度仍处于所述第二输出温度区间；当所述第二循环流道接入所述负载时，所述第一循环流道虽未接入所述负载，但所述第一循环流道仍处于工作模式，所述第一循环流道的循环液的温度仍处于所述第一输出温度区间。

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