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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利多柱扫描式电子显微镜系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114678245B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210320146.9，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权多柱扫描式电子显微镜系统是由R·海恩斯;A·韦尔克;M·纳赛尔-古德西;J·格尔林;T·普勒特纳设计研发完成，并于2018-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本多柱扫描式电子显微镜系统在说明书摘要公布了：本发明揭示一种多柱扫描式电子显微镜SEM系统，其包含柱组合件，其中所述柱组合件包含第一衬底阵列组合件及至少一第二衬底阵列组合件。所述系统还包含源组合件，所述源组合件包含：两个或两个以上照明源，其经配置以产生两个或两个以上电子束；及两组或两组以上多个定位器，其经配置以在多个方向上调整所述两个或两个以上照明源的特定照明源的位置。所述系统还包含经配置以固定样本的载物台，其中所述柱组合件将所述两个或两个以上电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上。

本发明授权多柱扫描式电子显微镜系统在权利要求书中公布了：1.一种多柱扫描式电子显微镜SEM系统，其包括： 柱组合件，其包括： 第一衬底阵列组合件；以及至少一第二衬底阵列组合件； 其中所述第一衬底阵列组合件或所述至少一第二衬底阵列组合件的至少一者中的衬底阵列包含： 复合衬底，其由多个衬底层形成，其中所述复合衬底包含用于经配置由两个以上电子束源产生的两个以上电子束中的每一个的孔； 多个电组件，其嵌入所述多个衬底层内； 至少一个接地接合垫，其耦合到所述复合衬底的顶面或底面中的至少一者； 至少一个信号接合垫，其耦合到所述复合衬底的所述顶面或所述底面中的至少一者； 多个柱电子光学元件，其中所述多个柱电子光学元件接合到所述复合衬底中的所述多个孔上方的所述复合衬底，其中所述多个柱电子光学元件中的每一者接合到耦合到所述复合衬底的所述顶面或所述底面中的至少一者的特定接地接合垫及特定信号接合垫，其中所述特定接地接合垫及所述特定信号接合垫对应于所述多个柱电子光学元件中的相应一者，且其中所述多个柱电子光学元件中的每一者被多个狭槽分段成一或多个电子束偏转器极，其中所述多个狭槽中的每一者延伸到所述多个柱电子光学元件中的每一者的边缘且在所述多个柱电子光学元件中的每一者接合到所述特定接地接合垫及所述特定信号接合垫之后形成； 源组合件，其包括： 所述两个以上电子束源，其中所述两个以上电子束源中的每一者经配置以产生所述两个以上电子束中的电子束；以及两组以上的多个定位器，其中所述多个定位器中的每一组经配置以以在多个方向上调整所述两个以上电子束源中的特定电子束源的位置，其中所述特定电子束源是与所述两组以上的多个定位器中的相应一组定位器对应的所述电子束源；以及载物台，其经配置以固定样本，其中所述柱组合件经配置以将所述两个以上电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上。

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