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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114746993B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080081549.1，技术领域涉及：H10P72/70；该发明授权基板处理装置是由安武阳介;石井弘晃;酒井涉;池上裕设计研发完成，并于2020-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：基板处理装置具备吸附保持机构、旋转机构、多个升降销、上下移动机构以及水平移动机构。吸附保持机构吸附保持基板。旋转机构使保持基板的吸附保持机构以旋转轴为中心旋转。上下移动机构使多个升降销沿上下方向移动。传感器测量保持于吸附保持机构的基板W的偏心状态。上下移动机构通过使多个升降销移动而从吸附保持机构支撑基板，在支撑基板的状态下，水平移动机构基于由传感器测量出的基板的偏心状态使多个升降销沿水平方向移动。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其用于处理基板，该基板处理装置的特征在于，具备： 吸附保持机构，其吸附基板的背面，将上述基板水平地保持； 旋转机构，其使保持上述基板的上述吸附保持机构以通过上述基板的中心的铅垂方向的旋转轴为中心旋转； 多个升降销，其设于在比由上述吸附保持机构保持的上述基板靠下方与该基板对置的位置，且配置于上述旋转轴的周围； 上下移动机构，其与上述多个升降销连结，使上述多个升降销的上端在第一位置与第二位置之间沿上下方向移动，上述第一位置是比上述吸附保持机构的吸附面靠上方的位置，上述第二位置是比上述吸附保持机构的上述吸附面靠下方的位置； 水平移动机构，其与上述多个升降销连结，使上述多个升降销相对于上述吸附保持机构在水平方向上移动；以及传感器，其测量保持于上述吸附保持机构的上述基板的偏心状态，上述上下移动机构通过使上述多个升降销向上述第一位置移动而从上述吸附保持机构支撑上述基板，在支撑上述基板的状态下，上述水平移动机构基于由上述传感器测量出的上述基板的偏心状态使上述多个升降销在水平方向上移动，上述旋转机构连结于从上述吸附保持机构向下方延伸的轴，上述上下移动机构及上述水平移动机构连结于收纳上述旋转机构的收纳部件，上述收纳部件连结于上述基板处理装置的地板。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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