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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114839941B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210656532.5，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质是由蒋治纬;黎焕诚;陈咏裕设计研发完成，并于2022-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质。该方法包括：通过周期性监测机台运作时设置的工艺配方，以根据工艺配方中各配方参数的参数值确定该工艺配方对应生产配方中的展示参数。该展示参数即表征需要人工为其参数值进行设定几率较大的配方参数，这样在对生产配方的配方参数进行调整以生成用于机台执行的黄金工艺配方时，通过在可视化界面内仅展示该生产配方的展示参数，以减少相关人员从众多配方参数中找寻可调参数的时间。并且，上述流程大幅降低了配方管理系统将配方参数调用到可视化界面内展示的响应时间，提高黄金工艺配方的分配效率。

本发明授权半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程工艺配方的分配方法，其特征在于，所述方法包括： 监测各机台在至少一个预设周期内运行时设置的工艺配方； 针对任意一个工艺配方，确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数； 根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板，所述显示模板仅包含所述展示参数的关联项，所述展示参数的关联项至少包括所述展示参数对应配方参数的参数名、参数值以及参数值范围； 响应于对展示参数的调整请求，将所述显示模板输出到可视化界面中展示，以通过所述可视化界面接收表征对所述显示模板内各展示参数的参数值的调整指示； 基于调整后的各展示参数生成所述生产配方对应的黄金工艺配方，并将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台； 其中，确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数包括： 若所述工艺配方中各配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内设定有上下限，则确定所述配方参数为所述展示参数； 若所述工艺配方中各配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内发生变化，则确定所述配方参数为所述展示参数； 若所述工艺配方中各配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内的变化次数满足预设阈值，则确定所述配方参数为所述展示参数。

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