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龙图腾网获悉杭州新诺微电子有限公司申请的专利一种卷对卷曝光装置及其连线上下料方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114995069B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210670934.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种卷对卷曝光装置及其连线上下料方法是由吴越;逄效伟;胡魏巍;郑先云;夏炎设计研发完成，并于2022-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种卷对卷曝光装置及其连线上下料方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种卷对卷曝光装置，用于曝光卷料；包括放卷机、曝光部及收卷机，曝光部位于放卷机与收卷机之间；曝光部包括压紧拉平及纠偏装置、压紧装置二及双面曝光机，压紧拉平及纠偏装置与压紧装置二分别靠近曝光部的两端设置，卷料穿过双面曝光机内以对卷料进行双面曝光。该曝光装置能够保证来料的平整度，降低卷料发生偏移及涨缩的概率，保证对位精度的同时保证曝光精度，提高曝光速率，进而提高产能。一种卷对卷曝光连线上下料方法，应用于上述卷对卷曝光装置，同样具有保证来料平整度，降低卷料发生偏移及涨缩的概率，保证对位精度的同时保证曝光精度，提高曝光速率的优点。

本发明授权一种卷对卷曝光装置及其连线上下料方法在权利要求书中公布了：1.一种卷对卷曝光装置，用于曝光卷料1；其特征在于：包括放卷机10、曝光部20及收卷机40，所述曝光部20位于所述放卷机10与所述收卷机40之间；所述曝光部20包括压紧拉平及纠偏装置201、压紧装置二202及双面曝光机205，所述压紧拉平及纠偏装置201与所述压紧装置二202分别靠近所述曝光部20的两端设置，所述曝光部20还设有可移动式设置的支撑算盘206，所述支撑算盘206位于所述卷料1下方； 所述卷料1穿过所述双面曝光机205内以对所述卷料1进行双面曝光，所述曝光部20还设有压紧装置三203与压紧装置四204，所述压紧装置三203与所述压紧装置四204均位于所述压紧拉平及纠偏装置201与所述压紧装置二202之间，所述压紧装置三203与所述压紧装置四204同时压紧所述卷料1；所述压紧装置二202、所述压紧装置三203及所述压紧装置四204结构一致设置，均包括上料夹20‑1与料夹底板20‑2，所述料夹底板20‑2固定安装于料夹固定座20‑3上，所述上料夹20‑1安装在两块升降滑板20‑4之间，且所述料夹固定座20‑3与所述升降滑板20‑4之间连接有滑轨与滑块，所述升降滑板20‑4的截面呈“L”型设置，通过驱动气缸20‑5驱动所述升降滑板20‑4，带动所述上料夹20‑1运动，进而改变所述上料夹20‑1与所述料夹底板20‑2之间的距离，实现对所述卷料1的压紧操作；所述压紧拉平及纠偏装置201包括所述压紧装置二202、所述压紧装置三203或所述压紧装置四204中的结构，还包括电缸20‑6与电机20‑7，所述电缸20‑6与所述电机20‑7在所述上料夹20‑1与所述料夹底板20‑2的一侧设置，所述电缸20‑6连接所述料夹底板20‑2的底部，所述电机20‑7连接所述电缸20‑6，当所述卷料1被所述上料夹20‑1与所述料夹底板20‑2压紧之后，通过驱动所述电机20‑7带动所述电缸20‑6，实现对所述卷料1的张紧拉平作用，且所述电机20‑7与所述电缸20‑6分别设置一对，一对所述电缸20‑6分别靠近所述上料夹20‑1、所述料夹底板20‑2的两端设置。

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