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龙图腾网获悉北京派和科技股份有限公司申请的专利双驱动刺晶机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115083968B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210793448.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权双驱动刺晶机构是由苏宗帅;张淑兰;范杨雷设计研发完成，并于2022-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本双驱动刺晶机构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种半导体领域中的刺晶设备，特别是涉及一种双驱动刺晶机构。本发明的目的是提供一种结构简单、体积小、施工工艺更简单的双驱动刺晶机构，包括第一驱动组件、第一连杆、第二驱动组件、第二连杆，所述第一驱动组件的输出端与所述第一连杆的第一端相连接，所述第二驱动组件的输出端与所述第二连杆的第一端相连接，所述第一连杆的第二端与所述第二连杆的第二端相连接，所述第一连杆与所述第二连杆的连接点为第三连接点，所述第二驱动组件的输出端适于带动所述第二连杆以所述第三连接点为支点转动，所述第一驱动组件的输出端适于带动所述第一连杆以所述第三连接点为支点转动。

本发明授权双驱动刺晶机构在权利要求书中公布了：1.一种双驱动刺晶机构，其特征在于，包括第一驱动组件1、第一连杆3、第二驱动组件2、第二连杆4，所述第一驱动组件1、所述第一连杆3、所述第二驱动组件2、所述第二连杆4均位于同一平面内，所述第一驱动组件1的输出端与所述第一连杆3的第一端相连接，所述第二驱动组件2的输出端与所述第二连杆4的第一端相连接，所述第一连杆3的第二端与所述第二连杆4的第二端相连接，所述第一驱动组件1与所述第一连杆3的连接点为第一连接点，所述第二驱动组件2与所述第二连杆4的连接点为第二连接点，所述第一连杆3与所述第二连杆4的连接点为第三连接点，所述第二驱动组件2的输出端适于带动所述第二连杆4以所述第三连接点为支点转动，所述第一驱动组件1的输出端适于带动所述第一连杆3以所述第三连接点为支点转动，刺晶头的机构末端位于第一连杆3上，所述第一驱动组件1及所述第二驱动组件2按一定规律周期性转动时，在所述第一驱动组件1的输出端、所述第二驱动组件2的输出端均形成位移，即所述第一连接点、所述第二连接点的位移，在所述第一连接点、所述第二连接点、所述第三连接点形成的三角形中，所述第一连接点和所述第二连接点运动，且所述第一连接点、所述第二连接点的位置由所述第一驱动组件1、所述第二驱动组件2唯一确定，所述第一连接点到所述第三连接点、所述第二连接点到所述第三连接点的距离均不变，所述第三连接点的位移唯一确定，所述第三连接点的位置由所述第一连接点和所述第二连接点共同确定，根据所述第一连接点、所述第三连接点的位置以及所述第一连杆3的形状函数，唯一确定机构末端的位置，从而在与机台运动的相同方向上对刺晶头的机构末端进行了位移补偿。

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