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龙图腾网获悉厦门士兰集科微电子有限公司申请的专利晶圆异常预警方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115268234B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211021861.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权晶圆异常预警方法是由罗莹莹;吴冲;陈燕华;张亮;江杨设计研发完成，并于2022-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆异常预警方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆异常预警方法，由于曝光制程站点出现异常时，晶圆上的多个曝光区域的同一位置上通常会出现重复异常点，本发明首先获取在曝光测试站点需要进行异常分析的晶圆测试图，然后将所述晶圆测试图划分为若干子测试图，每个所述子测试图均对应晶圆上的一个曝光区域，之后获取同一位置上具有重复异常点的所述子测试图的最大数量与所述子测试图的总数量之间的占比，基于所述占比可以判定是否需要进行晶圆异常预警，如此一来，一旦曝光制程站点出现异常便可以及时、准确地发现，能够有效预警晶圆异常，避免批量性不良品产生。

本发明授权晶圆异常预警方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆异常预警方法，其特征在于，包括： 获取在曝光测试站点需要进行异常分析的晶圆测试图； 将所述晶圆测试图划分为若干子测试图，每个所述子测试图均对应晶圆上的一个曝光区域； 获取同一位置上具有重复异常点的所述子测试图的最大数量与所述子测试图的总数量之间的占比；获取同一位置上具有重复异常点的所述子测试图的最大数量的步骤包括： 在每个具有异常点的所述子测试图中，以每个异常点的中心为圆心、以预设公差的一半为半径画圆圈，得到相应的第一异常公差图；以及，将所有所述第一异常公差图叠加，重叠的圆圈的最大数量为同一位置上具有重复异常点的所述子测试图的最大数量；以及，基于所述占比判定是否需要进行晶圆异常预警； 在所述第一异常公差图中，圆圈内的区域的灰度值为1，其他区域的灰度值为0；将所有所述第一异常公差图叠加时，是将所有所述第一异常公差图相加，以得到第一异常公差叠图，所述第一异常公差叠图中的最大灰度值为同一位置上具有异常点的所述子测试图的最大数量； 当判定需要进行晶圆异常预警之后，还包括： 获取所述重复异常点的位置，获取所述重复异常点的位置的步骤包括：在每个具有异常点的所述子测试图中，以每个异常点的中心为圆心、以预设公差为半径画圆圈，得到相应的第二异常公差图；将所有所述第二异常公差图叠加，重叠的圆圈最多的区域为重复异常区域；以及，将所述重复异常区域与所述子测试图中的所有异常点叠加，与所述重复异常区域重叠的异常点为所述重复异常点； 在所述第二异常公差图中，圆圈内的区域的灰度值为1，其他区域的灰度值为0；将所有所述第二异常公差图叠加时，是将所有所述第二异常公差图相加，以得到第二异常公差叠图，所述第二异常公差叠图中的灰度值最大的区域为所述重复异常区域；所述子测试图中的异常点的灰度值为1，其他区域的灰度值为0，将所述重复异常区域与所述子测试图中的所有异常点叠加时，先将所述第二异常公差叠图中的所述重复异常区域的灰度值设置为1，其他区域的灰度值设置为0，然后将所述第二异常公差叠图与所有具有异常点的所述子测试图之和相乘，以得到重复异常图，所述重复异常图中灰度值为1的位置为所述重复异常点。

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