花王株式会社山田晃平获国家专利权
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龙图腾网获悉花王株式会社申请的专利基板的清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115280244B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019641.X，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权基板的清洗方法是由山田晃平设计研发完成，并于2021-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板的清洗方法在说明书摘要公布了：本发明在一个方式中提供一种树脂掩膜去除性优异、可抑制铜的腐蚀及变色的清洗方法。本发明在一个方式中涉及一种基板的清洗方法，其包括使用清洗剂组合物从表面具有含铜金属层及树脂掩膜的基板剥离树脂掩膜的工序，上述清洗剂组合物含有碱剂成分A、铵离子NH44++，成分B、巯基乙酸成分C及水成分D，且成分B相对于成分C的摩尔比BC为1.5以上。
本发明授权基板的清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种基板的清洗方法，其包括使用清洗剂组合物从表面具有含铜金属层及树脂掩膜的基板剥离树脂掩膜的工序，所述清洗剂组合物含有：碱剂，即成分A；铵离子，即NH4+，成分B；巯基乙酸，即成分C；以及水，即成分D，成分A包含四烷基氢氧化铵，且成分B相对于成分C的摩尔比即BC为1.5以上，所述清洗剂组合物中，成分A的含量为0.5质量%以上且8质量%以下，成分B的含量为0.02mol100g以上且0.08mol100g以下，成分C的含量为0.4质量%以上且4质量%以下。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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