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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利热批处理腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115516615B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180032885.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权热批处理腔室是由阿德尔·乔治·塔诺;舒伯特·S·楚;刘树坤;卡蒂克·布彭德拉·仙;朱作明;阿拉·莫拉迪亚;苏拉吉特·库马尔;斯里尼瓦萨·兰加帕;秦嘉政;维希瓦·库马尔·帕迪设计研发完成，并于2021-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本热批处理腔室在说明书摘要公布了：提供批处理腔室及在批处理腔室中使用的处理配件。处理配件包括外衬垫、内衬垫、及顶板与底板，外衬垫具有上外衬垫与下外衬垫，顶板与底板附接于内衬垫的内表面。顶板与底板和内衬垫一起形成围护件，并且在围护件内设置盒。包括隔板的盒被构造成用以在隔板上保存多个基板。内衬垫具有入口开口与出口开口，入口开口设置在内衬垫的注入侧上并且被构造成用以与处理腔室的气体注入组件流体连通，出口开口设置在内衬垫的排出侧上并且被构造成用以与处理腔室的排气组件流体连通。围护件的内表面包括被构造成用以引起在围护件内的黑体辐射的材料。

本发明授权热批处理腔室在权利要求书中公布了：1.一种处理腔室，包括： 壳体结构，具有第一侧壁与第二侧壁，所述第二侧壁在第一方向上与所述第一侧壁相对； 气体注入组件，耦接至所述第一侧壁； 排气组件，耦接至所述第二侧壁； 石英腔室，设置在所述壳体结构内； 处理配件，设置在所述石英腔室内，所述处理配件包括： 圆筒形的外衬垫，包括上外衬垫与下外衬垫； 圆筒形的内衬垫，具有： 多个第一入口开口，设置在所述内衬垫的注入侧上并且被构造成用以与所述气体注入组件流体连通；和多个第一出口开口，设置在所述内衬垫的排出侧上并且被构造成用以与所述排气组件流体连通；以及顶板与底板，所述顶板与所述底板附接于所述内衬垫的内表面； 围护件，由所述顶板与所述底板连同所述内衬垫一起形成并且具有多个内表面，所述多个内表面包括一种材料，所述材料被构造成用以在所述围护件内引起黑体辐射；和盒，设置在所述围护件内，所述盒具有多个隔板，所述多个隔板被构造成用以在所述多个隔板上保存多个基板； 多个上灯模块，设置在所述石英腔室的第一侧上并且被构造成用以提供辐射热至所述多个基板；和多个下灯模块，设置在所述石英腔室的第二侧上并且被构造成用以提供辐射热至所述多个基板，所述第二侧在垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一侧相对。

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