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龙图腾网获悉光子集成(温州)创新研究院申请的专利悬臂式探针台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115541945B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211130801.0，技术领域涉及：G01R1/067；该发明授权悬臂式探针台是由臧春和;王斌;林敏;刘如意设计研发完成，并于2022-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本悬臂式探针台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种悬臂式探针台，包括悬臂组件和与悬臂组件连接的探针组件；探针组件包括连接件、探针挂臂、多个探针夹具和设置于每个探针夹具上的探针；连接件的一端与悬臂组件连接，另一端与探针挂臂连接；探针夹具沿探针挂臂的延伸方向依次设置，且探针夹具与探针挂臂固定连接。本发明的悬臂式探针台可以用一个悬臂悬挂多根探针，使多根探针呈阵列排布，从而实现多个纳米器件的同时测试，测试效率高，且由于多个探针共用一个探针座、一个悬臂，从而可最大限度地节约空间。在光电耦合的测试模式下，多个探针具有相同的入射角度可以保证光功率的一致性，使光电耦合测试数据避免了由于光功率差异引起的波动，使获得的测试数据更具有实验价值。

本发明授权悬臂式探针台在权利要求书中公布了：1.一种悬臂式探针台，其特征在于，包括悬臂组件和与所述悬臂组件连接的探针组件； 所述探针组件包括连接件、探针挂臂、多个探针夹具和设置于每个所述探针夹具上的探针； 所述连接件的一端与所述悬臂组件连接，另一端与所述探针挂臂连接； 所述探针夹具沿所述探针挂臂的延伸方向依次设置，且所述探针夹具与所述探针挂臂固定连接； 所述悬臂组件包括底座、立臂、悬臂、滑块和第一锁紧螺钉； 所述立臂垂直设置于所述底座上； 所述悬臂的一端与所述立臂固定连接，且所述悬臂与所述立臂垂直； 所述悬臂上开设有与所述滑块配合的水平滑槽； 所述滑块设置于所述水平滑槽内，并与所述连接件转动连接； 所述第一锁紧螺钉设置于所述滑块上，用于锁紧所述滑块和所述连接件； 所述连接件包括中轴和筒状套臂； 所述中轴的一端伸入所述滑块内，并与所述滑块转动连接，另一端套设有所述筒状套臂； 相应的，所述第一锁紧螺钉用于锁紧所述滑块和所述中轴； 所述筒状套臂还与所述探针挂臂连接，所述筒状套臂和所述探针挂臂的水平相对位置可调，所述探针夹具可以相较于所述探针挂臂进行小角度摆动，从而调节照射位置及光功率密度。

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