日本碍子株式会社久野达也获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利静电卡盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115552586B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180013642.3，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权静电卡盘是由久野达也设计研发完成，并于2021-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘在说明书摘要公布了：静电卡盘20具备：圆盘状的陶瓷板22，其在表面具有晶片载放面22a；静电电极30，其植入于陶瓷板22；以及气体沟25a～25g，它们在从上方观察陶瓷板22时被分为多个区段Z1～Z7，按在各区段从一对气体供排口26、27中的一个至另一个的方式独立地设置于晶片载放面22a。
本发明授权静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，其中，具备： 圆盘状的陶瓷板，该陶瓷板在表面具有晶片载放面； 静电电极，该静电电极植入于所述陶瓷板；以及气体沟，该气体沟在从上方观察所述陶瓷板时被分为多个区段，按在各所述区段从一对气体供排口中的一个气体供排口至另一个气体供排口的方式独立地设置于所述晶片载放面，向在各所述区段所设置的所述气体沟供给气体的模式能够选择下述模式中的任一模式：气体从所述一对气体供排口中的一个气体供排口向另一个气体供排口流动的第一模式，以及气体从所述一对气体供排口中的另一个气体供排口向一个气体供排口流动的第二模式。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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