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龙图腾网获悉上海拜安传感技术有限公司申请的专利MEMS光纤氢气传感器及形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115684088B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211327582.5，技术领域涉及：G01N21/45；该发明授权MEMS光纤氢气传感器及形成方法是由龙亮;郭智慧;钟少龙;郭凉杰设计研发完成，并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS光纤氢气传感器及形成方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MEMS光纤氢气传感器及形成方法，包括：钯膜，用于吸收氢气；支撑薄膜，包括第一面和第二面以及侧面，钯膜位于支撑薄膜的第一面；形变梁，连接在支撑薄膜的侧面上，受力能产生形变；框架，第一端与形变梁连接；第一反射膜，位于支撑薄膜的第二面；支撑结构，框架的第二端设置在支撑结构的表面；第二反射膜，与第一反射膜相对并且对准第一反射膜，第一反射膜和第二反射膜之间形成FP腔体，并且之间的距离为FP腔体的腔长；检测光纤，用于向FP腔体发射激光，以及接收从FP腔体反射的激光，当接收到的激光的波长发生了变化，通过波长变化可以获得腔长的变化，从而获得钯膜吸收的氢气的量，从而获得环境中氢气的含量。

本发明授权MEMS光纤氢气传感器及形成方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS光纤氢气传感器，其特征在于，包括： 钯膜，用于吸收氢气； 支撑薄膜，用于支撑所述钯膜，所述支撑薄膜包括相对的第一面和第二面以及连接在所述第一面和第二面之间的侧面，所述钯膜位于所述支撑薄膜的第一面； 形变梁，连接在所述支撑薄膜的侧面上，所述形变梁受力能产生形变； 框架，用于支撑所述形变梁，所述框架的第一端与所述形变梁连接； 第一反射膜，位于所述支撑薄膜的第二面； 支撑结构，具有通孔，所述框架的第二端设置在所述支撑结构的表面； 第二反射膜，位于所述通孔内，所述第二反射膜与所述第一反射膜相对并且对准所述第一反射膜，所述第一反射膜和所述第二反射膜之间形成FP腔体，并且所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的距离为FP腔体的腔长；以及检测光纤，用于向所述FP腔体发射激光，以及接收从所述FP腔体反射的激光； 所述形变梁为长方体的形状，所述形变梁的一端连接在所述支撑薄膜的侧面，另一端连接在所述框架上； 所述支撑薄膜具有四个侧面，每个所述侧面均至少连接一个形变梁，每个所述侧面连接的形变梁的数量相同。

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