苏州岚创科技有限公司张殷获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州岚创科技有限公司申请的专利光学监控机构及镀膜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115786869B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211239654.0,技术领域涉及:C23C14/54;该发明授权光学监控机构及镀膜装置是由张殷;孙紫娟;余桂龙;李景会设计研发完成,并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学监控机构及镀膜装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种光学监控机构及镀膜设备,所述光学监控机构包括:监控板与转轴,所述监控板开设有第一监控孔及第二监控孔,所述第一监控孔与所述第二监控孔在所述监控板上间隔设置,且所述第一监控孔到所述监控板圆心的距离与所述第二监控孔到所述监控板圆心的距离不相等,所述第一监控孔与所述第二监控孔用于供光线穿过;所述转轴与所述监控板的圆心连接,所述转轴用于驱使所述监控板转动。通过两路光线能够检测镀膜基板不同半径位置的光强变化,以此得到两个位置的膜厚度变化,从而实现双路监控,并通过设置多个监控孔,能够实现多光路对镀膜的监控,监控板与镀膜基板同轴旋转,可保证光控采样信号的稳定与重复性,从而提高镀膜品质。
本发明授权光学监控机构及镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种光学监控机构,其特征在于,所述光学监控机构包括: 监控板,所述监控板开设有第一监控孔及第二监控孔,所述第一监控孔与所述第二监控孔在所述监控板上间隔设置,且所述第一监控孔到所述监控板圆心的距离R1与所述第二监控孔到所述监控板圆心的距离R2不相等,所述第一监控孔与所述第二监控孔用于供光线穿过; 转轴,所述转轴与所述监控板的圆心连接,所述转轴用于驱使所述监控板转动; 所述第二监控孔的孔壁设有第一反射面与第二反射面,所述第一反射面与所述监控板呈夹角α1设置,所述第二反射面与所述监控板呈夹角α2设置,所述第一反射面与所述第二反射面均用于反射光线。
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