成都海光微电子技术有限公司林健获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉成都海光微电子技术有限公司申请的专利晶圆物理分析区域确定方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115797274B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211447824.4,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权晶圆物理分析区域确定方法、装置及电子设备是由林健设计研发完成,并于2022-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆物理分析区域确定方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了一种晶圆物理分析区域确定方法、装置及电子设备,涉及晶圆测试技术领域,为有利于提升物理失效分析的成功率而发明。所述晶圆物理分析区域确定方法,包括:对晶圆表面按照指定大小进行划分,得到多个区域;确定各区域中的第一类缺陷和第二类缺陷;计算每一区域中的第一类缺陷的失效严重程度和第二类缺陷的失效严重程度;所述第一类缺陷为所述晶圆经过第一类测试得到的缺陷,所述第二类缺陷为所述晶圆经过第二类测试得到的缺陷;根据所述第一类缺陷的失效严重程度和所述第二类缺陷的失效严重程度,在所述晶圆上确定目标区域;所述目标区域用于对所述晶圆的缺陷进行物理分析。本发明适用于对晶圆上的芯片进行测试分析。
本发明授权晶圆物理分析区域确定方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆物理分析区域确定方法,所述晶圆上制作有电路及电子元件,其特征在于,所述方法包括: 对晶圆表面按照指定大小进行划分,得到多个区域; 确定各区域中的第一类缺陷和第二类缺陷; 计算每一区域中的第一类缺陷的失效严重程度和第二类缺陷的失效严重程度;所述第一类缺陷为所述晶圆经过第一类测试得到的缺陷,所述第二类缺陷为所述晶圆经过第二类测试得到的缺陷; 根据所述第一类缺陷的失效严重程度和所述第二类缺陷的失效严重程度,在所述晶圆上确定目标区域;所述目标区域用于对所述晶圆的缺陷进行物理分析; 其中,所述根据所述第一类缺陷的失效严重程度和所述第二类缺陷的失效严重程度,在所述晶圆上确定目标区域,包括: 计算每一区域中,第一类缺陷的失效严重程度和第二类缺陷的失效严重程度的匹配度;将所述匹配度超过预定匹配度阈值的区域,确定为目标区域; 或者,计算每一区域中,第一类缺陷的失效严重程度和第二类缺陷的失效严重程度的匹配度;对各区域按照第一类缺陷的失效严重程度或第二类缺陷的失效严重程度的高低进行排序,提取排序靠前的第一预定数量的区域; 对所述第一预定数量的区域,按照所述匹配度的高低进行排序,提取排序靠前的第二预定个数的区域,作为目标区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人成都海光微电子技术有限公司,其通讯地址为:610041 四川省成都市高新区和乐二街171号4栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励