常州瑞择微电子科技有限公司徐飞获国家专利权
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龙图腾网获悉常州瑞择微电子科技有限公司申请的专利光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115857272B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211579900.7,技术领域涉及:G03F1/82;该发明授权光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置是由徐飞;张博文设计研发完成,并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置,包括安装架、两个滑动测距机构、条形喷嘴和转动驱动机构;两个滑动测距机构位于所述安装架两侧,包括滑配在所述安装架上的滑动件和安装在所述滑动件上并用于测量其与校准件之间的距离的测距传感器;条形喷嘴的中间位置转动安装在所述安装架上,每个端部通过一个联动机构连接一个滑动件,所述条形喷嘴在转动的过程中通过所述联动机构带动滑动件滑动;转动驱动机构安装在所述安装架和所述条形喷嘴之间,用于驱动所述条形喷嘴转动至使两个测距传感器测得的距离相等的位置。本发明可以很方便地对条形喷嘴进行平行定位。
本发明授权光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置在权利要求书中公布了:1.光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置,其特征在于,包括: 安装架1; 两个滑动测距机构,位于所述安装架1两侧,包括滑配在所述安装架1上的滑动件21和安装在所述滑动件21上并用于测量其与校准件之间的距离的测距传感器22; 条形喷嘴3,中间位置转动安装在所述安装架1上,每个端部通过一个联动机构连接一个滑动件21,所述条形喷嘴3在转动的过程中通过所述联动机构带动滑动件21滑动; 转动驱动机构4,安装在所述安装架1和所述条形喷嘴3之间,用于驱动所述条形喷嘴3转动至使两个测距传感器22测得的距离相等的位置; 托盘81,用于支撑光掩模版10; 框架82,所述框架82的内壁的与光掩模版10的四个角相对应的位置设有纠偏部,所述纠偏部包括倒锥形凹面841; 升降驱动机构83,连接所述框架82,用于驱动所述框架82升降,所述倒锥形凹面841用于在相对于所述光掩模版10上升并接触所述光掩模版10的过程中引导所述光掩模版10达到正位。
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