长鑫存储技术有限公司岳倩获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利静电荷消除装置及显影机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115968090B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310104729.2，技术领域涉及：H05F3/06；该发明授权静电荷消除装置及显影机台是由岳倩;吕嘉欣;申文帅设计研发完成，并于2023-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电荷消除装置及显影机台在说明书摘要公布了：本公开是关于一种静电荷消除装置及显影机台，所述静电荷消除装置包括：供电组件；脉冲模块，与所述供电组件电连接；电极，与脉冲模块电连接并用于将所述脉冲模块的脉冲信号传导至目标位置形成脉冲电场。本公开通过电极将脉冲模组发出的脉冲信号传导至目标位置，形成能够对目标位置的显影液和清洗液进行电离的脉冲电场，将静电荷吸附到与高压脉冲模块相连的电极周围，减少目标位置区域内或流经目标位置的显影液所携带的静电荷，使得显影液和清洗液落到晶圆表面后能够涂布均匀，进而达到线宽均匀，提高晶圆良率的目的。
本发明授权静电荷消除装置及显影机台在权利要求书中公布了：1.一种静电荷消除装置，其特征在于，所述静电荷消除装置包括： 供电组件； 脉冲模块，与所述供电组件电连接并接收所述供电组件提供的电力； 电极，所述电极至少有两个并分别连接所述脉冲模块的阴极和阳极，至少两个所述电极环绕目标位置设置，并用于将所述脉冲模块的脉冲信号传导至所述目标位置形成充斥于所述目标位置的脉冲电场； 所述电极上电连接有吸附丝，所述吸附丝沿所述电极的长度方向呈w状连续起伏延伸，所述吸附丝的端部与所述电极的端部位置对应； 同一所述电极上设有多根所述吸附丝，同一所述电极上的所述吸附丝间隔分布于所述电极朝向其他所述电极的一侧；每一所述吸附丝的两端分别对应另一所述吸附丝的两端； 且每一所述吸附丝均与另一所述电极上的一根所述吸附丝的位置对应。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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