北京理工大学;北京理工大学长三角研究院(嘉兴)王国俨获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学;北京理工大学长三角研究院(嘉兴)申请的专利一种用于临近空间探测的高精度微纳温度传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115979448B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211720337.0,技术领域涉及:G01K7/18;该发明授权一种用于临近空间探测的高精度微纳温度传感器是由王国俨;李中翔;胡纯;郑德智;张军设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于临近空间探测的高精度微纳温度传感器在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于临近空间探测的高精度微纳温度传感器,属于温度测量技术领域。本发明采用微桥式结构,以铂Pt电阻为测温敏感元件,大小在微纳米级,并在传感器外表面涂敷防辐射镀膜,具体包括:传感部件、第一电极、第二电极、电源以及导线;传感部件包括:基体、绝缘层、热敏电阻以及防辐射银膜;基体起承载以及对外安装作用,热敏电阻附着在绝缘层附着在基体上,热敏电阻为铂薄膜,实现温度的测量,防辐射铝膜镀于外层,屏蔽外界干扰,并作为电极与导线与电极连接。本发明具有体积小、电阻线性度好、热容量小、防辐射能力强的特点,能达到较高的测量精度和非常小的响应时间,解决临空探测温度的精度、响应时间的问题。
本发明授权一种用于临近空间探测的高精度微纳温度传感器在权利要求书中公布了:1.一种用于临近空间探测的高精度微纳温度传感器,其特征在于:采用微桥式结构,以铂Pt电阻为测温敏感元件,大小在微纳米级,并在传感器外表面涂敷防辐射镀膜,具体包括:电源1,导线2,第一电极3,第二电极4以及传感部件5; 传感部件5包括:基体6、绝缘层7、热敏电阻8以及防辐射银膜; 绝缘层7附着在基体6的上表面上,热敏电阻8附着在绝缘层7上; 基体6为蓝宝石材料,为长方体,中间开通孔,上下表面经过抛光处理,下表面作为固定安装面; 绝缘层7经过基体6的刻蚀后,形成悬空的绝缘层7的中间部分71,中间部分71与基体6的通孔61的形状相同,外环部分73与中间部分71的形状相同,且中间部分71通过四个微桥72与外环部分73连接,外环部分73的尺寸小于基体6的通孔61的尺寸; 热敏电阻8为铂薄膜,直接暴露在空气中; 热敏电阻8的电阻值如式1所示,热敏电阻8的阻值不小于100Ω; 其中,U为电压,R为电阻,I为电流,ρ为铂薄膜电阻率,k为铂薄膜电阻温度系数,T为温度,L为铂薄膜电阻长度,S为铂薄膜电阻横截面积,R0为温度为0℃的铂薄膜电阻值; 热敏电阻8的铂薄膜的散热模型,如式2所示,铂薄膜表面越大越利于散热; Q=atw‑t0F 2其中,Q为散热量,a为换热系数,tw为铂薄膜表面温度,t0为环境温度,F为铂薄膜表面面积; 热敏电阻8的铂薄膜通过直流磁控溅射工艺,在绝缘层7的上表面中间位置进行沉积成形; 防辐射银膜镀于基体6的四周表面、绝缘层7的外环部分73的上表面; 绝缘层7的上表面的防辐射银膜分为三部分,三部分之间互不连接,且其中两部分充当电极分别连接热敏电阻8的铂薄膜两端; 电源1通过导线2与防辐射银膜的形成的电极相连,形成回路。
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