东南大学王俊嘉获国家专利权
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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种基于连续域束缚态亚波长光栅跑道型谐振腔的传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116026790B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310003075.4,技术领域涉及:G01N21/45;该发明授权一种基于连续域束缚态亚波长光栅跑道型谐振腔的传感器是由王俊嘉;吴晓萱;房崇宝设计研发完成,并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于连续域束缚态亚波长光栅跑道型谐振腔的传感器在说明书摘要公布了:本发明是一种基于连续域束缚态亚波长光栅跑道型谐振腔的传感器,器件结构自下而上依次为:第一层是本征硅衬底1、第二层是掩埋氧化物层2、第三层是氮化硅薄膜3、第四层是跑道型谐振腔4,跑道型谐振腔包括跑道型微环4.1、总线波导4.2和光栅耦合器4.3。本发明在支持连续域束缚模式的波导上,通过设计周期小于光波长的亚波长光栅结构和跑道型谐振腔的参数,实现高品质因子的光限制传播,进一步应用为传感器。本发明具有高通量、高检测灵敏度、高品质因子、结构简单、易于制造等诸多优点,应用为折射率传感器或生物传感器可为快速、便携且具有成本效益的医学检测提供解决方案。
本发明授权一种基于连续域束缚态亚波长光栅跑道型谐振腔的传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于连续域束缚态亚波长光栅跑道型谐振腔的传感器,其特征在于,该器件自下而上的层状结构依次为:第一层是本征硅衬底1、第二层是掩埋氧化物层2、第三层是氮化硅薄膜3、第四层是跑道型谐振腔4,跑道型谐振腔4包括跑道型微环4.1、总线波导4.2和光栅耦合器4.3;其中,总线波导4.2在跑道型微环4.1两侧沿长度方向对称分布,光栅耦合器4.3分别位于两段总线波导4.2的四端; 所述跑道型谐振腔4包括跑道型微环4.1、总线波导4.2和光栅耦合器4.3,四个光栅耦合器4.3分别作为跑道型谐振腔4的输入端Input、直通端Through、上行端Add和下行端Drop的耦合器; 所述跑道型谐振腔4设置有周期小于光波长的亚波长光栅结构,所述亚波长光栅结构由若干个亚波长微纳结构单元组成; 所述亚波长微纳结构单元包括高折射率介质和低折射率介质,所述高折射率介质为电子束光刻胶ZEP520A,折射率小于所述氮化硅薄膜3的折射率,厚度为200‑1000纳米,所述低折射率介质为气体或液体。
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